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品牌

MKS

Inficon英?？?/span>

型號（系列）

622A623A626A

622B623B626B

CDG025D

CDG025D-X3

抗腐蝕

量程（Torr）

0.1,O.25,1,2,10,

20,100,500,

100OTorr可選

0.1,0.25,1,10

20,100,200，1000可選

0.1,0.25,1,2,5,10

20,50,100,200,

500,1000可選

精度

讀值±0.25%

讀值±2%

讀值±2%

法蘭接口

1/2管,8VCR,NW16 KF等

1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF

1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF

電源要求

± 15V直流

14-30自適應(yīng)直流

14-30V 自適應(yīng)直流

品牌

MKS

Inficon英?？?/span>

型號（系列）

627B，627C，627D

CDG045D

量程（Torr）

0.02,0.05,0.1,O.25,1,

2,10,20,100,500,

100OTorr等可選

0.1,0.25,0.5,1,2,5,10

20,50,100,200,

500,1000可選

精度

讀值±0.12%

讀值±0.15%

法蘭接口

1/2管,8VCR,NW16 KF等

1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF

通訊接口

D型15腳 接線端子

D-sub15腳 插座型

電源要求

± 15V或±24VDC 直流

14-30自適應(yīng)直流或± 15V

品牌

MKS

Inficon英?？?/span>

型號（系列）

628B，628C，628D

CDG045D

量程（Torr）

0.05,0.1,O.25,1,

2,10,20,100,500,

100OTorr等可選

0.1,0.25,0.5,1,2,5,10

20,50,100,200,

500,1000可選

精度

讀值±0.25%

讀值±0.2%

法蘭接口

1/2管,8VCR,NW16 KF等

1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF

通訊接口

D型15腳 接線端子

D-sub15腳 插座型

電源要求

± 15V或±24VDC 直流

14-30自適應(yīng)直流或± 15V

品牌

MKS

Inficon英?？?/span>

型號（系列）

631C/631D(150℃或200℃)

CDG160D（160℃）

CDG200D（200℃）

量程（Torr）

1,2,10,100,1000可選

1,2,5,10

20,50,100,200，500,1000可選

1,2,5,10

20,50,100,200，500,1000可選

精度

讀值±5%

讀值±0.4%

讀值±0.4%

法蘭接口

1/2管,8VCR,NW16 KF等

1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF

1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF

電源要求

± 15V直流

21-30V自適應(yīng)直流或±15VDC

21-30V 自適應(yīng)直流或±15VDC

品牌

MKS

Inficon英?？?/span>

型號（系列）

722A,722B

CDG020D

量程（Torr）

1,2,10,20,100,250,500,

100OTorr等可選

10,20,50,100,200,

500,1000可選

精度

讀值±0.5%

讀值±0.5%或1%

法蘭接口

1/2管,8VCR凹接頭,4VCR凹接頭,4VCR凸接頭,NW16 KF等

1/2管,8VCR凹接頭,4VCR凹接頭,4VCR凸接頭,NW16 KF,NW16 CF

通訊接口

D型9腳

D-sub 9腳 插頭型

電源要求

± 13V或±32VDC 直流

13-30V直流