質(zhì)量流量控制器可以用于控制所有各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但是要注意，對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí)，需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體，以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤，造成嚴(yán)重?fù)p失。通常質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。質(zhì)量流量控制器采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
質(zhì)量流量控制器一般指自控式流量控制閥，是一種直觀簡(jiǎn)便的流量調(diào)節(jié)控制裝置，管網(wǎng)中應(yīng)用自控式流量控制閥可直接根據(jù)設(shè)計(jì)來設(shè)定流量，閥門可在水作用下，自動(dòng)消除管線的剩余壓頭及壓力波動(dòng)所引起的流量偏差，無論系統(tǒng)壓力怎樣變化均保持設(shè)定流量不變，質(zhì)量流量控制器該閥這些功能使管網(wǎng)流量調(diào)節(jié)一次完成，把調(diào)網(wǎng)工作變?yōu)楹?jiǎn)單的流量分配，有效的解決管網(wǎng)的水力失調(diào)。
質(zhì)量流量控制器是一種無須溫度、壓力補(bǔ)償就能方便而且準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)在管道中流動(dòng)的空氣、氮?dú)?、氫氣、氧氣、天然氣、煙道氣、沼氣和其它各種氣體質(zhì)量流量的新型流量計(jì)量、監(jiān)控儀表。由于質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)型式的多樣靈活，可滿足使用現(xiàn)場(chǎng)的不同需求。使zui困難的大管徑、低流速的流量測(cè)量變得簡(jiǎn)單了。如配以不斷流裝拆裝置，則可使用戶在不停氣的工況下方便而又放心地裝拆質(zhì)量流量控制器，因此質(zhì)量流量控制器的維修或傳感探頭的清洗就變得輕而易舉了。
質(zhì)量流量控制器采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻(鉑RTD)，一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過質(zhì)量流量控制器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。
質(zhì)量流量控制器是利用熱傳導(dǎo)原理測(cè)量流體流量的儀表，質(zhì)量流量控制器采用恒溫差法對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。質(zhì)量流量控制器具有體積小，數(shù)字化程度高，安裝方便，測(cè)量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。質(zhì)量流量控制器可用于石油、化工、電力、輕工、食品、紡織、醫(yī)藥、電子和環(huán)保等工業(yè)部門的空氣、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質(zhì)量流量或?qū)嶋H工況的體積流量測(cè)量和監(jiān)控。
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