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藍(lán)寶石壓力變送器原理與應(yīng)用應(yīng)用應(yīng)變電阻式工作原理,采用硅-藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有不相上下的計量特性。藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發(fā)作滯后、疲倦和蠕變現(xiàn)象;藍(lán)寶石比硅要鞏固,硬度更高,不怕形變;藍(lán)寶石有著十分好的彈性和絕緣特性(1000OC以內(nèi)),因而,應(yīng)用硅-藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,對溫度變化不敏感,即便在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍(lán)寶石的抗輻射特性*;另外,硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件,無p-n漂移,因而,從基本上簡化了制造工藝,進(jìn)步了反復(fù)性,確保了低廢品率。用硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在惡劣的工作條件下正常工作,并且牢靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價比高。表壓壓力傳感器和壓力變送器由雙膜片構(gòu)成:鈦合金丈量膜片和鈦合金接納膜片。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈活電橋電路的藍(lán)寶石薄片,被焊接在鈦合金丈量膜片上。被測壓力傳送到接納膜片上(接納膜片與丈量膜片之間用拉桿鞏固的銜接在一同)。在壓力的作用下,鈦合金接納膜片產(chǎn)生形變,該形變被硅-藍(lán)寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會發(fā)作變化,變化的幅度與被測壓力成正比。傳感器的電路可以保證應(yīng)變電橋電路的供電,并將應(yīng)變電橋的失衡信號轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號輸出(0-5,4-20mA或0-5V)。在絕壓壓力傳感器和壓力變送器中,藍(lán)寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料銜接在一同,起到了彈性元件的作用,將被測壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變,從而到達(dá)壓力丈量的目的。
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