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特性
• 一維X向運動
• 行程達(dá)38μm
• 承載力達(dá)100g
• 可選閉環(huán)版本、真空版本
典型應(yīng)用
• 納米級精密位置調(diào)整
• 掃描顯微
• 微操作
• 納米定位/測量
• 微加工
高動態(tài) 高精度
P66A.X30為小體積高精度運動平臺,特別為高分辨率、高動態(tài)、高定位精度應(yīng)用而設(shè)計,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,實現(xiàn)納米級精度調(diào)整,特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計使其具有非常大的剛度,空載諧振頻率達(dá)2000Hz,滿足工業(yè)上對高頻率、高精度等應(yīng)用的需求。
技術(shù)參數(shù)
型號:P66A.X30
運動自由度:X
標(biāo)稱行程范圍(0~120V):30μm
行程范圍(0~150V):38μm
閉環(huán)傳感器類型:SGS
閉/開環(huán)分辨率:10/5nm
閉環(huán)線性度:0.1%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.1%F.S.
推/拉力:200/10 N
運動方向剛度:10N/μm
空載諧振頻率:2000Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間:5/1.5ms
承載能力:100g
靜電容量:3.6μF
臺體材料:鋁
電纜長度:1.5m
推薦控制器
P66A.X30壓電納米定位臺為一維X向運動機構(gòu),可配套芯明天單通道壓電控制器,實現(xiàn)精密運動控制。
E01.D1
LCD,薄膜按鍵, 可達(dá)625mA
RS-232/RS-422/USB通信
軟件可二次開發(fā)
E53.D
小體積,60mA
RS-232/RS-422/USB通信
軟件可二次開發(fā)
相關(guān)產(chǎn)品
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