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質(zhì)量流量計(jì)與傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量原理類似，流體的質(zhì)量流量與流過傳感器所帶走的熱量相對(duì)應(yīng)。在流量芯片上，1個(gè)微熱源的上、下游各對(duì)稱地設(shè)置1個(gè)溫度傳感器，還設(shè)置了1個(gè)環(huán)境溫度傳感器，用來調(diào)節(jié)環(huán)境溫度變化對(duì)微熱源的影響。

　　流體的質(zhì)量流量，微熱源上、下游的溫度變化及微熱源的功率是芯片的主要參數(shù)。

　　傳感器所測(cè)量的流量為與溫度和壓力無關(guān)的質(zhì)量流量。

　　盡管如此，控制電路的溫度補(bǔ)償是流量計(jì)溫度效應(yīng)的主要來源。 
 

質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)為： 

①量程比大，MF－FD系列氣體質(zhì)量流量計(jì)的量程比達(dá)100∶1。 

②始動(dòng)流量小?？捎行Ы鉀Q機(jī)械式流量計(jì)的小流量漏計(jì)問題，減小燃?xì)夤镜墓╀N差。 

③直接進(jìn)行質(zhì)量計(jì)量，不需溫度、壓力補(bǔ)償，減少計(jì)量損失。 

④壓力損失小，能保證系統(tǒng)節(jié)能運(yùn)行。 

⑤重量輕。與容積式流量計(jì)相比，MEMS質(zhì)量流量計(jì)的重量大大減輕。 

⑥無可動(dòng)部件。 

⑦全電子智能功能。專門設(shè)計(jì)的電子控制部件能提供信號(hào)傳輸、事故報(bào)警、IC卡控制等功能；內(nèi)置存儲(chǔ)器進(jìn)行歷史數(shù)據(jù)記錄，為深入分析和管理用戶用氣創(chuàng)造了條件；網(wǎng)絡(luò)通信功能可輕松實(shí)現(xiàn)城市燃?xì)鈨x表的系統(tǒng)管理，為城市燃?xì)鈱?shí)現(xiàn)調(diào)峰、階梯收費(fèi)等措施創(chuàng)造了條件。