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實(shí)驗(yàn)儀是一個(gè)真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái),能夠很直觀反映真空獲得的,過程。由真空獲得部分、真空鍍膜和電控及儀表等部分組成,結(jié)構(gòu)合理,運(yùn)行,,,適合于對(duì)學(xué)生開展真空實(shí)驗(yàn)教學(xué)。
1、真空的獲得與測(cè)量;
2、蒸發(fā)法薄膜制備;
主要,特點(diǎn):
1 設(shè)備的真空反應(yīng)室、油擴(kuò)散泵、真空管路部件,透明;
2 電氣控制有,%護(hù),%止誤操作對(duì)操作人員和設(shè)備造成的損傷;
3 管路采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合,閥門為電控雙向截止閥,真空室內(nèi)有烘烤除氣設(shè)備;
4 一機(jī)多用的功能,針對(duì)高校開展綜合性、設(shè)計(jì)性和開放性實(shí)驗(yàn)的要求,預(yù)留有大空間的真空室,在配置一些組件后,就能方便開設(shè)其他擴(kuò)展實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目。
主要,參數(shù):
1、φ230mm×255mm硬質(zhì)玻璃真空室;
2、采用機(jī)械泵、四,玻璃質(zhì)油擴(kuò)散泵兩,真空系統(tǒng),擴(kuò)散泵油量125~140ml,帶水冷;
3、真空度:開機(jī)60分鐘后可達(dá)6×10-3Pa,,限真空度:9.6×10-4Pa;恢復(fù)真空時(shí)間<40分鐘;
4、采用一對(duì)無氧銅電,蒸發(fā)電,,電,間距70mm,可選用鎢絲或鉬舟作蒸發(fā)源,蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)范圍:0~150A;
5、襯底可加熱。襯底加熱溫度范圍:室溫~200℃;
6、工作電壓:AC220V±5%,50Hz,整機(jī)功率3.5KW;
7、工作環(huán)境要求:溫度低于30℃,濕度≤70%;冷卻水溫度22℃±3℃,水循環(huán)用戶自備。
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