德國SIOS長(zhǎng)度測(cè)量干涉儀SP 5000 TR 原理介紹

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德國SIOS長(zhǎng)度測(cè)量干涉儀SP 5000 TR 原理介紹

來源：天津瑞利光電科技有限公司 2022年01月07日 09:53

產(chǎn)品介紹：

工業(yè)和研究中的許多應(yīng)用都需要高精度的同時(shí)位移和角度測(cè)量?？焖僭O(shè)置和簡(jiǎn)單的調(diào)整尤為重要。三光束激光干涉儀是一種精密的長(zhǎng)度測(cè)量設(shè)備，將三個(gè)干涉儀組合在一個(gè)設(shè)備中。在所有三個(gè)測(cè)量通道中使用相同的高度穩(wěn)定的激光頻率。因此，可以以納米精度同時(shí)測(cè)量三個(gè)長(zhǎng)度值。可以根據(jù)兩個(gè)長(zhǎng)度值之間的差異以及校準(zhǔn)的光束距離來高精度確定相應(yīng)的角度。

該系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，因此可以適應(yīng)多種測(cè)量任務(wù)。傳感器頭的光纖耦合和可選的集成光束方向檢測(cè)功能支持輕松操作和調(diào)節(jié)。三光束干涉儀的設(shè)計(jì)緊湊而堅(jiān)固。這使其非常適合工業(yè)和研究中的高精度測(cè)量以及作為OEM儀器。對(duì)于較大的測(cè)量范圍或校準(zhǔn)任務(wù)，建議使用無線溫度傳感器或氣候測(cè)量站LCS。

參數(shù)：

測(cè)量范圍：max.5 m

光束距離：12 mm

角度分辨率：0.002 arcsec

帶反射器的角度測(cè)量：直到±12.5°

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