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氣體種類

項目

指標

優(yōu)等品

一等品

合格品

高純氮

氮氣純度, 10^-2（V/V）

99.9996

99.9993

99.999

氧含量,10^-6（V/V）

1.0

2.0

3.0

氫含量,10^-6_（V/V）

0.5

1.0

1.0

CO、CO₂、CH₄總含量,10^-6（V/V）

1.0

2.0

3.0

高純氬

氬純度, 10-²（V/V）

99.9996

99.9993

99.999

氮含量,10^-6（V/V）

2

4

5

氫含量,10^-6（V/V）

0.5

1

1

總碳含量（以甲烷計）10^-6（V/V）

0.5

1

2

高純氦

氦氣純度, 10^-2（V/V）

99.9996

99.9993

99.999

氫含量,10^-6（V/V）

0.1

0.5

1

氧（氬）含量10^-6（V/V）

0.5

1

1

氮含量,10^-6（V/V）

1

1

2

一氧化碳含量,10^-6（V/V）

0.1

0.2

0.5

二氧化碳含量,10^-6（V/V）

0.2

0.2

0.5

甲烷含量,10^-6（V/V）

0.1

0.2

0.5

高純氫

氫純度, 10^-2（V/V）

99.999

氧（氬）含量10^-6（V/V）

1

氮含量,10^-6（V/V）

5

一氧化碳含量,10^-6（V/V）

1

二氧化碳含量,10^-6（V/V）

1

甲烷含量,10^-6（V/V）

1

超純氫

氫純度, 10^-2（V/V）

99.9999

氧（氬）含量10^-6（V/V）

0.2

氮含量,10^-6（V/V）

0.4

一氧化碳含量,10^-6（V/V）

0.1

二氧化碳含量,10^-6（V/V）

0.1

甲烷含量,10^-6（V/V）

0.2

高純氧

氧純度, 10^-2（V/V）

99.999

99.998

99.995

氬含量,10^-6（V/V）

2

5

10

氮含量,10^-6（V/V）

5

10

20

二氧化碳含量,10^-6（V/V）

0.5

1

1

總碳含量（以甲烷計）10^-6（V/V）

0.5

1

2