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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)如何選型

來(lái)源:珠海諾美特工業(yè)技術(shù)有限公司   2022年08月06日 08:33  

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是用于測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量的儀表,區(qū)別于其它氣體流量計(jì),不需要進(jìn)行壓力和溫度修正,直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。

可應(yīng)用于:

半導(dǎo)體制造行業(yè);

分析儀器設(shè)備行業(yè);

各種形式的真空鍍膜設(shè)備;

環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備;

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè);

特種材料表面處理裝置與燃燒;

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。

氣體質(zhì)量流量計(jì)選型的時(shí)候需要注意一下幾方面問(wèn)題:

1.通過(guò)的介質(zhì)。氣體流量計(jì)適用于各種氣體,包括特殊氣體和腐蝕性氣體。以腐蝕性氣體為例:腐蝕性氣體通過(guò)流量計(jì)的時(shí)候如果流量計(jì)沒(méi)有經(jīng)過(guò)特殊處理過(guò),會(huì)因?yàn)楦g性氣體的特性,造成密封元件等方面的故障,從而影響到了流量計(jì)的正常使用,因此相關(guān)特性的介質(zhì)在選型的時(shí)候需特別關(guān)注密封材料等信息,如全金屬密封,耐氨橡膠等密封材質(zhì)。另外像氫氣、甲烷等可燃性氣體需注意氣體濃度過(guò)高所造成的爆點(diǎn)問(wèn)題等等。

2.量程范圍(或者稱之為流量范圍)。在流量計(jì)選型的時(shí)候,首先要確定所需流量計(jì)的量程問(wèn)題,以HORIBAMETRON(堀場(chǎng)匯博?。┕井a(chǎn)品為例:公司產(chǎn)品以氮?dú)猓∟2)來(lái)標(biāo)定,如用其他氣體時(shí)需要進(jìn)行換算,非氮?dú)饨橘|(zhì)時(shí)是以氮?dú)馀c該氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)來(lái)?yè)Q算以確定標(biāo)定流量。

3.壓力范圍。HORIBAMETRON流量計(jì)耐壓3MPa, 壓差范圍為(0.05-0.3)MPa。3MPa以內(nèi)可直接安裝使用;需注意的是有些行業(yè)需要在高壓狀態(tài)下工作,要明確壓力范圍是否滿足。

4.接口通徑。選擇接口時(shí)需針對(duì)管路狀況進(jìn)行選擇,就目前而言以Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),軟管接頭Ф4mm~Ф10mm等為主 。

5.供電電壓和控制。以HORIBAMETRON流量計(jì)而言,供電電壓有±15V和24V兩種??刂平涌谟?針和15針的,也有9孔和15孔的。

6.通信協(xié)議。相對(duì)于數(shù)字式流量計(jì)而言很多時(shí)候都會(huì)涉及到通信協(xié)議問(wèn)題,以 MODBUS 、Profibus、DeviceNet為標(biāo)準(zhǔn),在選擇時(shí)注意協(xié)議類型。備注(某些行業(yè)在選擇流量計(jì)時(shí)模擬控制就可滿足要求)需注意。

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