新品|N11.X3.5KZ真空版超小體積直線壓電馬達

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新品|N11.X3.5KZ真空版超小體積直線壓電馬達

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2023年11月01日 14:58

壓電馬達是由壓電陶瓷作為驅(qū)動馬達，利用特殊機械結(jié)構(gòu)設(shè)計，將壓電陶瓷產(chǎn)生的直線微位移轉(zhuǎn)換為機械平面的宏觀直線（或角度）運動，行程可達幾十毫米（或360°），根據(jù)運動方式可分為直線壓電馬達和旋轉(zhuǎn)壓電馬達。在當(dāng)今工業(yè)和高科技領(lǐng)域?qū)Ω呔茏詣踊刂频男枨?/span>下，壓電馬達由于大行程、高精度、小體積等優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)、光學(xué)儀器設(shè)備、醫(yī)療生物顯微設(shè)備、精密加工設(shè)備、航空航天等領(lǐng)域。

本次給大家介紹一款真空版超小體積直線壓電馬達，型號是N11.X3.5KZ。它采用粘滑原理，將PZT 壓電陶瓷的微運動轉(zhuǎn)換為毫米級長行程。它的體積非常小巧，僅15×15×7mm^3，而它的行程卻可高達3.6mm，可通過單獨使用或組合使用進行1-3維運動，運動速度可達2mm/s，真空度可選10^-6或10^-9mbar版，非常適用于受限空間和環(huán)境中毫米范圍行程的調(diào)整應(yīng)用。

產(chǎn)品特點

• 行程可達3.6mm

• 一至三維可選

• 體積小、重量輕

• 速度可達 2mm/s

• 斷電自鎖

產(chǎn)品應(yīng)用

N11.X3.5KZ直線壓電馬達可在超分辨成像樣品移動、微納裝備及制造、掃描電鏡（SEM）樣品操縱、納米聚焦與掃描、主動光學(xué)、集成電路制造與檢測、顯微及納米CT、大范圍電子束直寫（EBL）、高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿等高精密運動控制系統(tǒng)或設(shè)備中廣泛應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)

型號	N11.X3.5KZ
運動自由度	X
標(biāo)稱行程范圍	3.6或±1.8mm
速度上限	2mm/s
開環(huán)分辨率	20nm
出力	0.5N
保持力（斷電自鎖）	1.5N
承載能力（水平方向）	0.3kg
承載能力（豎直方向）	0.03kg
軸向剛度	1N/μm
側(cè)向剛度	2N/μm
工作溫度	0～50℃
電纜長度	1.5m
材質(zhì)	鋁，不銹鋼
質(zhì)量（不包含電纜）	6g

配套控制器

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的E53.C1K-J壓電控制器非常適用于驅(qū)動N11.X3.5KZ，它是單通道壓電控制器，尺寸僅105×103×30.1mm^3，采用數(shù)字控制，外觀體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

更多詳情歡迎致電芯明天！

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