APC真空蝶閥介紹

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APC真空蝶閥介紹

來源：深圳市科銳詩汀科技有限公司 2024年02月02日 13:42

APC真空蝶閥介紹

日揚科技的APC真空蝶閥是一種可以通過電動馬達控制蝶板的開度，從而調節(jié)真空腔體的壓力的真空閥門，主要應用于半導體、光電面板、太陽能、CVD等產業(yè)的真空制程。

產品結構介紹：

APC蝶閥一般被安裝在真空泵組與真空制程腔室之間，通過真空計反饋的電壓值控制蝶閥密封板開度大小，從而達到調節(jié)腔室壓力的目的，搭配O型圈的設計，可以隔絕真空側與大氣側，防止污染和泄漏。

控制系統介紹：日揚的APC真空蝶閥的控制器和執(zhí)行器集成在一體，可以通過多種通訊接口（如MODBUS、DeviceNET等）與外部控制器或軟件進行通信。APC真空蝶閥的控制器還具有友善的用戶界面，可以方便地設定和監(jiān)控閥門狀態(tài)，以及設置控制參數、循環(huán)壽命、壓力公差范圍等。

非?？焖贉蚀_的壓力控制

*開閥門位置控制
*備用電源：有，用于停電時關閉閥門。
*傳感器電源：24V DC 和±15V DC 均有
*2 個線性傳感器或模擬線性物理量的輸入
*模擬量和數位控制
*環(huán)境溫度：≤ 70°C max.（控制器部分-24HR）
*遠端控制（供客戶選擇）
*閥門可由主機（本地控制）通過RS232控制；用于初始調整。
*狀態(tài)和位置以綠色4位亮數字顯示。

日揚APC蝶閥具有控制壓力精確、反應時間短、使用壽命長、易維修等特點，搭配Htc的APC軟件，可以簡單快速地設定并監(jiān)控制程壓力。

>>設置控制調整參數：PID GAIN

>>壓力和位置控制模式

>>附表測試模式=> 1 cycle schedule

>>設置閥打開/關閉速度

>>記錄APC HW/SW 版本, 序列號和型號

>>記錄閥門循環(huán)和運行時間

>>設置公差范圍的壓力

>>循環(huán)壽命和壓力控制記錄

>>控制器參數上傳和下載

>>斷電保護功能

>>屏幕截圖

>>壓力學習功能

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