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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱傳導(dǎo)原理測(cè)量流體流量的儀表。該儀表采用恒溫差法對(duì)氣體流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便、測(cè)量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。其中傳感器部分由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環(huán)路，一個(gè)傳感器測(cè)量流體溫度，另一個(gè)傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可在高溫和高壓條件下進(jìn)行流量測(cè)量。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)：真正的質(zhì)量流量計(jì)，對(duì)氣體流量測(cè)量無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償，測(cè)量方便、準(zhǔn)確。可得到氣體的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量。寬量程比，可測(cè)量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏?？拐鹦阅芎檬褂脡勖L(zhǎng)。傳感器無(wú)活動(dòng)部件和壓力傳感部件，不受震動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響。安裝維修簡(jiǎn)便。在現(xiàn)場(chǎng)條件允許的情況下，可以實(shí)現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護(hù)。數(shù)字化設(shè)計(jì)。整體數(shù)字化電路測(cè)量，測(cè)量準(zhǔn)確、維修方便。采用RS-485通訊，可以實(shí)現(xiàn)工廠自動(dòng)化、集成化。