紅外測(cè)溫儀成功應(yīng)用于碳化硅的外延生產(chǎn)工藝中

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紅外測(cè)溫儀成功應(yīng)用于碳化硅的外延生產(chǎn)工藝中

來源：北京杜賀利創(chuàng)科技有限公司 2024年09月16日 14:49

碳化硅的外延工藝是整個(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè)中的一種非常關(guān)鍵的工藝，由于現(xiàn)在所有的器件基本上都是在外延上實(shí)現(xiàn)，所以外延的質(zhì)量對(duì)器件的性能是影響是非常大的，但是外延的質(zhì)量它又受到晶體和襯底。加工的影響，處在一個(gè)產(chǎn)業(yè)的中間環(huán)節(jié)，對(duì)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到非常關(guān)鍵的作用。
碳化硅一般采用PVT方法，溫度高達(dá)2000多度，且加工周期比較長(zhǎng)，產(chǎn)出比較低，因而碳化硅襯底的成本是非常高的。
在器件制備方面，由于材料的特殊性，器件過程的加工和硅不同的是，采用了高溫的工藝，包括高溫離子注入、高溫氧化以及高溫退火工藝。

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