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臺式掃描電鏡:微觀尺度形貌觀測和分析利器

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2024年11月05日 09:11  

微觀世界是一個極其微小卻又無比豐富的領(lǐng)域。在材料科學中,材料的性能往往取決于其微觀結(jié)構(gòu),如晶體的排列方式、原子的分布等。微觀層面的信息對于科學研究和技術(shù)發(fā)展至關(guān)重要,了解這些微觀特征,能夠幫助科學家們設(shè)計出更優(yōu)異的材料,應用于航空航天、電子設(shè)備等眾多領(lǐng)域。

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然而,要深入探究微觀世界,工具是非常重要的。近年來,掃描電鏡相關(guān)話題熱度持續(xù)攀升,尤其是在材料科學和生命科學等領(lǐng)域的應用受到了廣泛關(guān)注。掃描電鏡作為一種能夠提供高分辨率微觀圖像的儀器,在材料表征、生物樣本觀察等方面發(fā)揮著不可替代的作用。


CEM3000系列臺式掃描電鏡概述

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1、緊湊外觀,靈活放置

臺式掃描電鏡不像傳統(tǒng)的大型掃描電鏡那樣需要占據(jù)大量的空間。外型緊湊這一特點使其能夠放置在桌面上,大大地節(jié)省了空間。與立式電鏡相比,它不需要專門預留大量的空間來安置整個電鏡系統(tǒng)。這種緊湊性不僅方便在實驗室的常規(guī)桌面上使用,還使其能夠適應特殊環(huán)境,如手套箱、車廂等,為科研工作者提供了更多的使用場景選擇。

與立式電鏡對比除了空間優(yōu)勢外,臺式掃描電鏡在特殊環(huán)境下的適應性更為突出。立式電鏡往往受到環(huán)境限制,而臺式電鏡其設(shè)計,能夠在一些較為狹窄或特殊的空間內(nèi)正常工作。例如,在一些需要在移動車輛中進行即時檢測的場景,或者在有限空間的實驗室手套箱內(nèi)進行微觀觀察時,臺式掃描電鏡都能展現(xiàn)出其優(yōu)勢。這種靈活性為科研工作者提供了很大的便利。

2、強大功能,滿足多樣需求

(1)高分辨率成像

提供優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV的空間分辨率。

(2)快速抽放氣系統(tǒng)

采用的真空系統(tǒng)設(shè)計,具備快速抽放氣的功能??s短用戶的等待時間,提高工作效率,還能更好地適應一些需要快速檢測的場景。

(3)高易用性操作

具有自動合軸、自動聚焦、自動消像散以及一鍵圖像增強等功能。用戶無需過多的專業(yè)知識和復雜的人工操作,就能快速獲得高質(zhì)量的拍攝圖片。即使是初學者,也能在短時間內(nèi)掌握電鏡的基本操作。

(4)大樣品倉設(shè)計(部分機型)

CEM3000A型號的電鏡在保證較小外型尺寸的同時,擁有比肩立式電鏡的大倉室。這個大樣品倉可以容納更大尺寸的樣品或多個常規(guī)尺寸的樣品,為一些需要對大尺寸樣品進行微觀分析的研究提供了便利。

(5)高抗振防磁性能

具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B型號采用了特殊的復合抗振手段,將抗振性能提升到了新的高度。這種高抗振防磁性能確保了電鏡在復雜環(huán)境下仍然能夠穩(wěn)定工作,為科研人員提供準確可靠的微觀圖像。

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(6)可選配低真空系統(tǒng)

提供了可選配的低真空系統(tǒng),用戶可以根據(jù)樣品的特性自由設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)的真空度(倉內(nèi)真空度低可達100Pa)。這使得該電鏡能夠適應更多種類的樣品,無論是對真空度要求較高的常規(guī)樣品,還是一些需要在低真空環(huán)境下觀察的特殊樣品,都能得到很好的觀測。

3、豐富的技術(shù)參數(shù),保障性能

(1)電子槍與加速電壓

采用鎢燈絲的電子槍有良好的穩(wěn)定性和發(fā)射性能。CEM3000加速電壓范圍為1 - 20kV,科研人員可以根據(jù)樣品的特性選擇合適的加速電壓。較低的加速電壓適合觀察一些對電子束敏感的樣品,避免過度損傷樣品;而較高的電壓則可用于穿透較厚的樣品或獲取更清晰的內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息。

(2)放大倍數(shù)與探測器

電鏡的放大倍數(shù)范圍為電子圖:40 - 200,000×(可選配大圖拼接)。這一寬廣的放大倍數(shù)范圍使得它能夠適應從宏觀到微觀的不同觀測需求。在低放大倍數(shù)下,可以觀察樣品的整體形態(tài);而在高放大倍數(shù)下,則可以深入探究樣品的微觀結(jié)構(gòu)細節(jié)。大圖拼接功能進一步擴展了觀測視野,對于一些較大尺寸的樣品,可以通過拼接圖像獲得完整的微觀形貌。同時,該系列電鏡標配二次電子探頭和背散射電子探頭(四象限高分辨探頭)。二次電子探頭主要用于獲取樣品表面的形貌信息,它對樣品表面的起伏和粗糙度較為敏感;背散射電子探頭則可以提供樣品內(nèi)部的成分信息,通過分析背散射電子的強度和分布,可以了解樣品內(nèi)部不同元素的分布情況。兩種探頭的結(jié)合使用,為全面分析樣品提供了有力的手段。

(3)真空系統(tǒng)與樣品臺

如前所述,真空系統(tǒng)具有高真空和低真空兩種模式,不同機型的抽真空時間也有所不同。樣品臺的設(shè)計也各有特點,CEM3000A機型的自動軸包括X,Y,T,手動軸包括R,Z;CEM3000B機型的自動軸為X,Y,手動軸為R,Z。樣品臺的行程范圍也各有不同,這些設(shè)計保證了樣品臺的動作精度和高重復性,能夠準確地移動樣品到所需的觀測位置。


應用領(lǐng)域廣泛,助力科學研究

在不同領(lǐng)域應用時,CEM3000系列臺式掃描電鏡通過搭配不同的探頭來接收不同的信號,同時利用自身的多種功能,如高分辨率、自動調(diào)節(jié)等,對樣品進行全面的分析。例如,在材料科學中,搭配二次電子探頭和背散射電子探頭,結(jié)合高分辨率成像功能,可以清晰地觀察到材料的微觀結(jié)構(gòu)和成分;在生物醫(yī)療領(lǐng)域,搭配適合生物樣本的探頭,利用自動調(diào)節(jié)功能確保成像質(zhì)量,從而更好地觀察生物樣本的微觀特征。

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