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12.0潔凈室潔凈度－塵埃粒子數(shù)測量

潔凈室潔凈度－塵埃粒子數(shù)測量{塵埃粒子計數(shù)器的選型}

簡易CLJ-3016H手持式激光粒子計數(shù)器

限于體量和重量，手持式激光粒子計數(shù)器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺（0.1cfm），即每分鐘2.83升（2.83L/m），其Z小粒徑通道一般為0.3μm。通常均可采用電池或交流電工作。

這類產(chǎn)品粒徑通道又可分為雙通道型，由于這類產(chǎn)品采樣空氣量小，測量精度相對較低，但隨檢測人員移動靈便，適用于各種潔凈室的監(jiān)測，判定過濾設備的效率和密封性。這類產(chǎn)品可存儲一定量的采樣數(shù)據(jù)，備有下載軟件，均不帶打印裝置。

便攜式激光粒子計數(shù)器

這類產(chǎn)品較手持式的機構相對復雜些，測量精度較高，因而體量、重量也較大，一般用于潔凈室認證檢測，通常有小流量與大流量之分，但均為多通道，根據(jù)所測試潔凈室的級別不同對所需機型可有所選擇。這類產(chǎn)品多數(shù)內(nèi)置打印機，也有的采取數(shù)據(jù)存儲后輸出打印方式。

用于潔凈環(huán)境實時監(jiān)控的激光粒子計數(shù)器及相關設備

為了在潔凈室運行過程中，及時了解與判定潔凈室環(huán)境，特別是一些關鍵區(qū)域或部位所處的狀態(tài)，是否依然和始終符合生產(chǎn)或科研所規(guī)定的技術指標，潔凈室管理者需要對其主要技術指標進行實時監(jiān)控或周期性監(jiān)測。一些別潔凈室為此對一些關鍵指標：潔凈度、溫度、濕度和惰性氣體等設置了連續(xù)巡查的裝置，以便隨時考核潔凈室的受控狀態(tài)。

遠程空氣顆粒計數(shù)儀特點：

大流量1.0cfm（28.3升/分）和0.1cfm（2.83升/分），可Z小監(jiān)控0.2μm粒徑顆粒，2個標準粒徑尺寸通道

市場上系列遠程空氣顆粒計數(shù)儀普遍性能：

◆監(jiān)控粒徑0.2μm-10μm（在此范圍可選通道）

◆可集成進入 FMS系統(tǒng)（計算機集中控制和管理的制造系統(tǒng)）

◆維護簡便和方便校驗數(shù)據(jù)輸出以太網(wǎng)和模擬通訊方式

◆內(nèi)置流量傳感器，流量偏差時能提早報警。

另一種順序監(jiān)測系統(tǒng)則僅在潔凈室各關鍵部位設置空氣采樣口，通過氣溶膠導管將所設置的多個采樣口與配置有激光粒子計數(shù)器及計算機的順序監(jiān)測系統(tǒng)相連。由計算機控制激光粒子計數(shù)器順序與各采樣口的氣溶膠導管相通，由氣泵采入與之相通的空氣采樣口處的空氣，進行粒徑與數(shù)量的測量，并將結果錄入計算機中。