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一、壓力衰減測(cè)試

原理：

這是一種常用的檢測(cè)方法。通過(guò)向手套箱內(nèi)充入一定壓力的氣體（一般是惰性氣體，如氮?dú)猓?，然后關(guān)閉進(jìn)氣口，觀察一段時(shí)間內(nèi)壓力的變化情況。如果手套箱密封良好，壓力下降的幅度應(yīng)該在允許的范圍內(nèi)；如果存在泄漏，壓力會(huì)明顯下降。

操作步驟：

首先將手套箱內(nèi)的壓力升高到一個(gè)設(shè)定值，例如比外界大氣壓高 10 - 20kPa。使用高精度的壓力傳感器記錄初始?jí)毫χ?，然后關(guān)閉所有與外界相通的閥門(mén)，包括進(jìn)氣閥、排氣閥等。在一段時(shí)間內(nèi)（通常是數(shù)小時(shí)甚至更長(zhǎng)時(shí)間，具體根據(jù)實(shí)際情況和要求而定），持續(xù)監(jiān)測(cè)壓力變化。如果在規(guī)定時(shí)間內(nèi)，壓力下降不超過(guò)一定數(shù)值（如每小時(shí)下降不超過(guò) 0.1 - 0.2kPa），則可以認(rèn)為密封性能基本達(dá)標(biāo)。

二、氦質(zhì)譜檢漏

原理：

氦氣是一種小分子、高擴(kuò)散性的氣體，且在空氣中含量極低。利用氦質(zhì)譜檢漏儀，將氦氣噴在手套箱可能泄漏的部位，如箱體的焊縫、接口、手套與箱體的連接處等。如果這些部位存在泄漏，氦氣會(huì)進(jìn)入手套箱內(nèi)部，氦質(zhì)譜檢漏儀就能檢測(cè)到氦氣的信號(hào)，從而確定泄漏點(diǎn)及其泄漏率。

操作步驟：

首先將手套箱內(nèi)抽成真空狀態(tài)，或者充入一定壓力的氣體。然后，使用氦氣噴槍將氦氣噴在懷疑有泄漏的地方。氦質(zhì)譜檢漏儀與手套箱的內(nèi)部空間相連，一旦檢測(cè)到氦氣，就會(huì)顯示出相應(yīng)的信號(hào)強(qiáng)度和泄漏率。一般來(lái)說(shuō)，對(duì)于半導(dǎo)體等對(duì)密封要求嚴(yán)格的行業(yè)，允許的氦氣泄漏率可能要低于1×10?? Pa?m3/s。

三、氣泡檢測(cè)法

原理：

將手套箱密封后，在可能泄漏的部位涂抹肥皂水等表面張力較低的液體。如果有泄漏，氣體從泄漏點(diǎn)逸出時(shí)會(huì)在液體中形成氣泡，通過(guò)觀察氣泡的產(chǎn)生情況可以判斷是否存在泄漏以及大致的泄漏位置。

操作步驟：

在手套箱的焊縫、接口、閥門(mén)等部位涂抹均勻的肥皂水。然后向手套箱內(nèi)充入一定壓力的氣體（壓力不宜過(guò)高，以免損壞箱體），仔細(xì)觀察涂抹肥皂水的部位。如果看到有連續(xù)的氣泡產(chǎn)生，說(shuō)明該部位存在泄漏，并且氣泡產(chǎn)生的速度和大小可以大致反映泄漏的嚴(yán)重程度。不過(guò)這種方法相對(duì)比較粗糙，對(duì)于微小泄漏可能不太敏感。

四、氧氣、水分含量檢測(cè)

原理：

在手套箱內(nèi)建立一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的無(wú)氧、無(wú)水的環(huán)境后，如果密封性能不好，外界的氧氣和水分會(huì)逐漸進(jìn)入箱內(nèi)，導(dǎo)致箱內(nèi)氧氣和水分含量升高。通過(guò)檢測(cè)箱內(nèi)氧氣和水分的含量變化，可以間接判斷密封性能。

操作步驟：

首先將手套箱內(nèi)的氧氣和水分含量降低到一個(gè)較低的水平，例如氧氣含量低于 1ppm，水分露點(diǎn)低于 - 70℃。使用高精度的氧氣分析儀和露點(diǎn)儀持續(xù)監(jiān)測(cè)箱內(nèi)的氧氣和水分含量。如果在一段時(shí)間內(nèi)（如數(shù)天），氧氣和水分含量上升幅度較?。ㄈ缪鯕夂棵刻焐仙怀^(guò) 0.1ppm，水分露點(diǎn)上升不超過(guò) 1℃），則說(shuō)明密封性能較好。