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晶圓領(lǐng)域等離子清洗機(jī)有哪些特點(diǎn)?

來(lái)源:深圳納恩科技有限公司   2025年02月21日 07:30  

晶圓(Wafer)清洗分為濕法清洗和干法清洗,等離子清洗屬于后者,主要是去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物。晶圓片清洗質(zhì)量的好壞對(duì)器材功能有嚴(yán)重的影響。正是由于圓片清洗是半導(dǎo)體制作工藝中最重要、最頻繁的工步,并且其工藝質(zhì)量將直接影響到器材的成品率、功能和可靠性,所等離子體清洗作為一種的干式清洗技能,具有綠色環(huán)保等特點(diǎn),隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,等離子清洗機(jī)也在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用越來(lái)越多。


其清洗過(guò)程就是先將晶圓放入等離子清洗機(jī)的真空反應(yīng)腔體內(nèi),然后抽取真空,達(dá)到一定真空度后通入反應(yīng)氣體,這些反應(yīng)氣體被電離形成等離子體與晶片表面發(fā)生化學(xué)和物理反應(yīng),生成可揮發(fā)性物質(zhì)被抽走,使得晶圓表面變得清潔并具親水性。與其他行業(yè)比較,晶圓及晶圓級(jí)封裝的等離子清洗機(jī)有哪些特點(diǎn)呢?


1、憑借等離子清洗機(jī)針對(duì)晶圓外表處理之后,能夠獲得鉆孔小,對(duì)外表和電路的損傷小,到達(dá)清潔、經(jīng)濟(jì)和安全的效果。

2、刻蝕均勻性好,處理過(guò)程中不會(huì)引進(jìn)污染,潔凈度高。

3、經(jīng)過(guò)等離子清洗機(jī)的簡(jiǎn)單處理,就能經(jīng)過(guò)等離子發(fā)生的自由基將高分子聚合物清除潔凈,包含在很深且狹窄尖利的溝槽里的聚合物。 我們都知道一個(gè)物理常識(shí),如果孔洞轉(zhuǎn)角尖利,金屬液體是很難流進(jìn)去的。那是由于尖利的轉(zhuǎn)角增加了它外表的張力,然后影響了金屬液體流動(dòng)。而等離子清洗機(jī)能夠?qū)⒑苌疃粗谢蚱渌苌町?dāng)?shù)貙⒐饪棠z的殘留物去除掉,等離子清洗技能能有用去除外表殘膠。


隨著倒裝芯片封裝技能的呈現(xiàn),干式等離子清洗與倒裝芯片封裝相得益彰,成為提高其產(chǎn)量的重要協(xié)助。經(jīng)過(guò)等離子體清洗機(jī)處理芯片和封裝載板,不僅能夠獲得超清潔的焊接外表,還能夠大大進(jìn)步焊接外表的活性,有用防止虛焊,削減空泛,提高填料的邊際高度和包容性,提高封裝的機(jī)械強(qiáng)度,削減不同材料的熱膨脹系數(shù)在界面之間構(gòu)成的內(nèi)應(yīng)剪切力,提高產(chǎn)品的可靠性和使用壽命。


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