激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn)，對數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。

 

    光的干涉

 

    光具有波粒二象性。

 

    兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加，在某些區(qū)域始終加強(qiáng)，在另一些區(qū)域則始終削弱，形成穩(wěn)定的強(qiáng)弱分布的現(xiàn)象。

 

    產(chǎn)生穩(wěn)定干涉的條件：只有兩列光波的頻率相同，位相差恒定，振動方向一致的相干光源，才能產(chǎn)生光的穩(wěn)定干涉。由兩個普通獨(dú)立光源發(fā)出的光，不可能具有相同的頻率，更不可能存在固定的相差，因此，不能產(chǎn)生穩(wěn)定干涉現(xiàn)象。

 

    為什么要用雙頻激光干涉儀？

 

    單頻激光干涉儀是一種直流測量系統(tǒng)，存在較大的零漂；同時由于空氣湍流，機(jī)床油霧，切削屑等會使光束發(fā)生偏移或波面扭曲，導(dǎo)致激光束強(qiáng)度發(fā)生變化，就有可能使光電信號低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù)。

 

    雙頻激光干涉儀的信號交流信號，因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大，這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號。

 

    雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等，也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。

 

    線性測量安裝方式：

 

    ①固定錐角反射鏡與分光鏡通過安裝組件固定在主軸上。

 

    ②移動錐角反射鏡通過安裝組固定在移動的工作臺上。

 

    ③調(diào)整激光頭、分光鏡、反射鏡在一條直線上。