激光干涉測(cè)量原理+-=++=兩列振幅為A1、A2，頻率為f，初始相位分別為和的光在空間疊加時(shí)的光強(qiáng)為：若光的振幅相等：相位角相同時(shí)，復(fù)合光強(qiáng)為原先的2倍，產(chǎn)生明條紋。當(dāng)相位角相差180°（半個(gè)波長(zhǎng)）時(shí)，復(fù)合光強(qiáng)為0，產(chǎn)生暗條紋。

 

    激光干涉儀測(cè)量原理

 

    XL-80激光測(cè)量回路如下如果測(cè)量光路長(zhǎng)度改變（角錐反射鏡C移動(dòng)），干涉光束的相對(duì)相位將改變，由此產(chǎn)生的相長(zhǎng)干涉和相消干涉的循環(huán)將導(dǎo)致疊加光束強(qiáng)度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動(dòng)316nm，就會(huì)出現(xiàn)一個(gè)光強(qiáng)變化循環(huán)（明－暗－明）通過計(jì)算這些循環(huán)來測(cè)量移動(dòng)。

 

    通過在這些循環(huán)之間進(jìn)行相位細(xì)分，實(shí)現(xiàn)更高分辨率(1nm)的測(cè)量。①輸入光束②參考光束③測(cè)量光束④疊加光束二、激光干涉測(cè)量原理為什么要用雙頻激光干涉儀？

 

    單頻激光干涉儀是一種直流測(cè)量系統(tǒng)，存在較大的零漂；同時(shí)由于空氣湍流，機(jī)床油霧，切削屑等會(huì)使光束發(fā)生偏移或波面扭曲，導(dǎo)致激光束強(qiáng)度發(fā)生變化，就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號(hào)時(shí)交流信號(hào)，因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大。

 

    這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號(hào)。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等，也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。

 

    RenishawXL-80激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)簡(jiǎn)介XL-80基本線性配置XL-80激光頭XC-80補(bǔ)償器三角架和云臺(tái)線性測(cè)量鏡組計(jì)算機(jī)和軟件線性測(cè)量回路C(移動(dòng)反射鏡)A(分光鏡)B(固定反射鏡)輸出光反射光測(cè)量光匯合光線性測(cè)量安裝方式固定錐角反射鏡與分光鏡通過安裝組件固定在主軸上移動(dòng)錐角反射鏡通過安裝組件固定在移動(dòng)的工作臺(tái)上調(diào)整激光頭、分光鏡、反射鏡在一條直線上為什麼需要補(bǔ)償？

 

    激光波長(zhǎng)是高測(cè)量精度的基礎(chǔ)，然而激光的波長(zhǎng)會(huì)受到空氣折射率的影響?？諝庹凵渎视质艿酱髿鈮?、溫度和濕度的影響。

 

    激光干涉儀其中n為空氣折射率，c為激光在真空中的光速，λ為波長(zhǎng)，f為頻率環(huán)境補(bǔ)償單元RenishawXC80環(huán)境補(bǔ)償單元的高性能可以保證在0-40度環(huán)境溫度范圍內(nèi)，和