本產(chǎn)品采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)物鏡掃描臺(tái),掃描臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),確保了掃描臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。掃描臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。分立的螺紋適配器,可適配多種型號(hào)的物鏡。產(chǎn)品具有開(kāi)環(huán)與閉環(huán)兩種版本。閉環(huán)采用應(yīng)變式傳感器(SGS),具有分辨率高、響應(yīng)快,給定目標(biāo)值到適當(dāng)?shù)奈恢?,通過(guò)對(duì)傳動(dòng)納米測(cè)量精度位置反饋信號(hào)至控制器。平行四邊形的設(shè)計(jì)保證了較高的平行運(yùn)動(dòng)不影響光路。通過(guò)使用一個(gè)集成的測(cè)量系統(tǒng),可以保證定位的可重復(fù)性。包括集成的預(yù)加載的致動(dòng)器的設(shè)計(jì)提供了高的諧振頻率和高的平行運(yùn)動(dòng)。由于該系列快速掃描的應(yīng)用,可以用zui短的時(shí)間解決精確實(shí)現(xiàn)的*功能。 納米位移臺(tái)是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)。納動(dòng)設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺(tái)使用柔性鉸鏈技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。納米位移臺(tái)內(nèi)置高精密傳感器,閉環(huán)控制時(shí),傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別、亞納米級(jí)別的分辨率。 物鏡側(cè)螺紋M直徑(目標(biāo)適配器【選配】) 型號(hào) 描述 M25 X 0.75 目標(biāo)適配器 M26 X 1/36" 目標(biāo)適配器 M26 X 0.75 目標(biāo)適配器 M27 X 0.75 目標(biāo)適配器 W0.8X1/36" 目標(biāo)適配器