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儀表網(wǎng)>全部分類 >測量/計(jì)量 >表面測量儀器 >臺階儀 更新時(shí)間:2025-02-08 返回產(chǎn)品中心
臺階儀

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號

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適用行業(yè)
  • NS200國產(chǎn)高精度臺階儀
    已有人咨詢
    ¥600000

    摘要 NS系列國產(chǎn)高精度臺階儀采用了磁吸式測針,當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時(shí),可現(xiàn)場快速更換掃描測針,并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定,確保換針后的精度和重復(fù)性,減少維護(hù)煩惱。

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  • 摘要 中圖儀器國產(chǎn)臺階儀NS系列是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

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  • NS200納米級臺階高度儀
    已有人咨詢
    ¥600000

    摘要 NS系列納米級臺階高度儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

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  • NS200探針接觸式臺階儀
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    摘要 NS系列探針接觸式臺階儀用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

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  • NS200涂層臺階膜厚儀
    已有人咨詢
    ¥600000

    摘要 中圖儀器NS系列涂層臺階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整。

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  • NS200納米級精度臺階儀
    已有人咨詢
    ¥600000

    摘要NS系列納米級精度臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使...

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  • 摘要 NS系列軟膜材料臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

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  • NS200亞埃級分辨率臺階儀
    已有人咨詢
    ¥600000

    摘要 NS系列亞埃級分辨率臺階儀是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

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  • 摘要中圖國產(chǎn)臺階儀品牌NS系列主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性...

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  • NS200高分辨率臺階儀
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    ¥600000

    摘要 NS系列高分辨率臺階儀集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

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  • 摘要 NS系列軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

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  • NS200材料臺階高度測量儀
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    ¥600000

    摘要 NS系列材料臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

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  • NS200納米級2D臺階高度測量儀
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    ¥600000

    摘要 NS系列納米級2D臺階高度測量儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

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  • NS200國產(chǎn)臺階儀器
    已有人咨詢
    ¥600000

    摘要NS系列國產(chǎn)臺階儀器是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號...

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  • NS200中圖國產(chǎn)臺階儀
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    ¥600000

    摘要 中圖國產(chǎn)臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。

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  • NS200接觸式臺階膜厚儀
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    ¥600000

    摘要 中圖儀器接觸式臺階膜厚儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

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  • 摘要 NS系列高精度探針式輪廓儀臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

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  • 摘要 NS200接觸探針式微納米測量臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。

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  • 摘要 NS系列探針式高重復(fù)性臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

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  • 摘要 NS系列微觀二維形貌輪廓臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度。

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  • 摘要 NS系列探針式輪廓薄膜表面臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

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  • NS200探針接觸式臺階高度儀
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    ¥600000

    摘要 NS系列探針接觸式臺階高度儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。

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  • NS200納米級高精度臺階儀
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    ¥600000

    摘要 中圖儀器NS系列納米級高精度臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。

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  • NS200高精度薄膜厚度臺階儀
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    ¥600000

    摘要 NS系列高精度薄膜厚度臺階儀集成超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

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  • 摘要 中圖儀器NS系列探針式臺階儀薄膜表面粗糙度測試儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

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  • 摘要 NS系列微納米測量接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。

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  • NS200納米臺階測厚儀
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    摘要 NS系列納米臺階測厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。

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  • NS200薄膜臺階高度測量儀
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    摘要NS系列薄膜臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量...

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  • NS200納米測厚臺階儀
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    摘要 NS系列納米測厚臺階儀測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)時(shí),采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

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  • 摘要NS系列中圖國產(chǎn)臺階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括...

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  • 摘要NS系列國產(chǎn)膜厚檢測臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,可測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)。NS系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)...

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  • NS200微觀表面測量臺階儀
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    摘要 中圖儀器NS系列微觀表面測量臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn),采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。

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  • 摘要中圖儀器NS系列太陽能涂層薄膜測量臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。儀器采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定...

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  • 摘要NS系列臺階儀測量柔性電子器件薄膜厚度可用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng),其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企...

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  • 摘要 中圖儀器NS系列觸控面板薄膜厚度測量臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

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    中圖儀器
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  • 摘要 中圖儀器NS系列探針式臺階儀輪廓粗糙度表面檢測儀可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,是一種接觸式表面形貌測量儀器。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。

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    中圖儀器
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  • 摘要 中圖儀器國內(nèi)臺階儀品牌廠家NS系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

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  • 摘要 中圖儀器國產(chǎn)臺階儀探針式輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

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  • NS200中圖臺階儀品牌
    已有人咨詢
    ¥600000

    摘要 NS系列中圖臺階儀品牌采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

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  • 摘要NS系列國產(chǎn)臺階儀測粗糙度應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng),其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,對于相關(guān)材料...

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  • 摘要中圖儀器國產(chǎn)臺階儀測試薄膜厚度配備了500W像素的彩色相機(jī),可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測量??梢詫ξ⒚缀图{米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒...

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  • 摘要國產(chǎn)臺階儀品牌廠家中圖儀器的NS系列臺階儀,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測...

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  • 摘要 中圖儀器NS系列臺階儀接觸式輪廓測量儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

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  • NS200表面臺階輪廓儀
    已有人咨詢
    ¥600000

    摘要NS系列表面臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng),其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制...

    在線詢價(jià)
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  • NS200臺階儀探針輪廓儀
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    ¥600000

    摘要中圖儀器NS系列臺階儀探針輪廓儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面...

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最新產(chǎn)品\ NEW PRODUCT
  • 國產(chǎn)高精度臺階儀

    NS系列國產(chǎn)高精度臺階儀采用了磁吸式測針,當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時(shí),可現(xiàn)場快速更換掃描測針,并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定,確保換針后的精度和重復(fù)性,減少維護(hù)煩惱。
  • 中圖儀器國產(chǎn)臺階儀

    中圖儀器國產(chǎn)臺階儀NS系列是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
  • 納米級臺階高度儀

    NS系列納米級臺階高度儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
  • 探針接觸式臺階儀

    NS系列探針接觸式臺階儀用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
  • 涂層臺階膜厚儀

    中圖儀器NS系列涂層臺階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整。
  • 納米級精度臺階儀

    NS系列納米級精度臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
  • 軟膜材料臺階高度測量儀

    NS系列軟膜材料臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
  • 亞埃級分辨率臺階儀

    NS系列亞埃級分辨率臺階儀是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
  • 中圖國產(chǎn)臺階儀品牌

    中圖國產(chǎn)臺階儀品牌NS系列主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
  • 高分辨率臺階儀

    NS系列高分辨率臺階儀集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
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