快速退火爐LRTP-1200，采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品（4英寸）快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。
Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 應(yīng)用案例
快速熱處理，快速退火，快速熱氧化，快速熱氮化
離子注入/接觸退火
SiAu, SiAl, SiMo合金化
太陽(yáng)能電池片鍵合
電阻燒結(jié)
低介電材料熱處理
晶體化，致密化
其他熱工藝需求
Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 產(chǎn)品特點(diǎn)
可測(cè)大尺寸樣品 可測(cè)單晶片樣品的大尺寸為4英寸（100mm）。
快速控溫與高真空 升溫速率可達(dá)100℃/s，真空度可達(dá)到10Pa。
程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展 多可創(chuàng)建和存儲(chǔ)32個(gè)程序、8個(gè)PID設(shè)定，實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確測(cè)試。多可擴(kuò)展至4條工藝氣路（MFC），應(yīng)用不同氣氛環(huán)境（真空、氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等）。
全自動(dòng)智能控制 采用全自動(dòng)智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
超高安全系數(shù) 采用爐門安全溫度開(kāi)啟保護(hù)、溫控器開(kāi)啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施，*保障儀器使用安全。
快速退火爐技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | LRTP-1200 |
溫度范圍 | 1150℃ |
升溫速率 | 100℃/s |
較快降溫速度 | 200℃/min(1000℃-->400℃) |
控溫精度 | ≤0.1℃ |
溫場(chǎng)均勻性 | ≤0.5% |
腔體冷卻 | 水冷方式，獨(dú)立冷卻源 |
襯底冷卻 | 氮?dú)獯祾?/p> |
工藝氣路 | MFC控制，4路(可選氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氮混合氣? |
主機(jī)尺寸 | 450×625×535，單位mm |
