XYZ壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅動，具有大承載、響應速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點。內(nèi)置高分辨率SGS傳感器進行全閉環(huán)運動控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領域。
XYZ壓電納米定位臺應用
光電對準
光電封裝
納米加工
光學測量
納米自動化
產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
??3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴格保證構結精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設計方法設計微動結構；
5.采用*的表面處理工藝，提高了適應不同工作環(huán)境的能力。
技術參數(shù)：
軸向: 3
行程: 9-400 μm
分辨率: 0.02-0.8 nm
共振頻率: 140-2200Hz
推力: 9-1800N
拉力: 1-180N
應用實例：
AFM顯微鏡，激光校準，低溫操作應用，微型加工技術，半導體，掃描應用
上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。
