閉環(huán)三維納米定位臺是專業(yè)為納米級別定位位移應用設計的納米定位平臺和納米定位臺系統(tǒng),分辨率高達50nm,位移行程范圍100mm,并具有零反沖的特性。
閉環(huán)三維納米定位臺上海廠家產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝,嚴格保證構結精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設計方法設計微動結構;
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應不同工作環(huán)境的能力;
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺。
閉環(huán)三維納米定位臺上海廠家產(chǎn)品規(guī)格
移動距離 100mm
低摩擦力
直線度 5µ
剛度 100 N /µ
分辨率 50 nm
速度 0.001-150 mm/s
重復性 0.1µ
負載 3kg
應用
• 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術/半導體技術 •質量保證測試 •微加工/精密控制
上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。