小型單軸壓電驅(qū)動(dòng)器是為壓電掃描定位設(shè)計(jì)的壓電促動(dòng)器,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電驅(qū)動(dòng)原子力顯微鏡壓電驅(qū)動(dòng)和微納操作,非常在開放和閉環(huán)系統(tǒng)中的光學(xué)元件壓電驅(qū)動(dòng)和掃描探針壓電驅(qū)動(dòng)應(yīng)用。
小型單軸壓電驅(qū)動(dòng)器應(yīng)用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計(jì)量學(xué)應(yīng)用
生物學(xué)研究
電子學(xué)應(yīng)用
特點(diǎn)
雙電容傳感器反饋技術(shù)
低頻噪聲電阻
補(bǔ)償壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)
水平方向上掃描位移行程120µM
超高分辨率,為0.1nm
低成本
設(shè)計(jì)緊湊,重量輕,剛度高
是顯微鏡應(yīng)用的理想單軸壓電驅(qū)動(dòng)器,Piezo Actuator
通用性強(qiáng)
產(chǎn)品規(guī)格
運(yùn)動(dòng)特性
主動(dòng)軸 Z
Z軸運(yùn)動(dòng)距離, µm 120
分辨率(閉環(huán))nm 1
分辨率(開環(huán)),nm 0.1
整范圍內(nèi)的角度傾斜,° <0.01
大掃描速度, Hz 10
控制性能
電容量,PF 20
機(jī)械性能
諧振頻率的Z, kHz 3
負(fù)載容量, g 100
操作溫度范圍,°C - 40…80
尺寸,mm 30 x 30 x 22
材料 鋁