MET ONE 3411便攜式空氣顆粒計數器
適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MET ONE 3411 具有業(yè)界*的 ISO 21501 數據準確性和再現性，是業(yè)內潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數器。
MET ONE 3411便攜式空氣顆粒計數器
- 可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數器能讓排氣扇點塵不染 - 熱插拔電池-*確保儀器長時間連續(xù)運行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數歸零及采用備份電源時都無需停機 - 測試向導（Test Wizard）能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導體生產環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤 - 順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數器可依次從多達32個位置進行順序采樣。MET ONE 3411便攜式空氣顆粒計數器 - 靈活的通訊方式——設置簡單，數據傳輸方便
供選擇的無線，以太網和串口通訊可以將數據傳輸到METONE數據管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作 - 直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域，位置和運行參數的配置和復制，節(jié)約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數設置錯誤，并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數組部署采樣計劃！ - 符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
于滿足特殊顆粒計數要求，儀器與儀器之間的準確度和再現性*符合 ISO21501-4標準要求。
