產(chǎn)品介紹
INFICON前載式雙探頭提供驗證的可靠性和持久性,與市場上任何探頭探頭相比,
具有的熱穩(wěn)定性。雙探頭提供備份晶體,在真空室內(nèi)需要第二個晶體的關(guān)鍵
過程中是至關(guān)重要的。
規(guī)格 配置
對于從側(cè)面插入無足夠空間的應(yīng)用,前載式結(jié)構(gòu)易于插入晶體架。采用機械裝配
代替焊接,必要時可現(xiàn)場方便地更換部件。探頭可單個訂購或訂購探頭/法蘭組合
可選焊接的或直口接頭裝配的結(jié)構(gòu)。
探頭配置
前載式雙探頭的標準配置中水管與晶片平行。當*晶體監(jiān)測沉積速率時,氣動
晶體擋板保護備份晶體。擋板是下拉式結(jié)構(gòu),
便于更換晶體。為有效地消除RF干擾,暴露的晶體電極是全部接地的。
法蘭
INFICON 提供兩種法蘭,1" 螺紋法蘭或 2¾" (CF40) ConFlat® 法蘭。 按用
戶要求可提供 KF40 法蘭。
法蘭連接
可訂購與法蘭的組合。探頭/ 法蘭連接可采用直口接頭或焊接 ( 當與
1" 螺紋法蘭組合時) 。如需焊接連接,必須在訂購前填寫INFICON 提供的一個探
頭長度規(guī)格表。直口接頭易調(diào)整,無釬焊或焊接的要求。法蘭可沿著管長移動,對
于 "E" 長度探頭, 在真空系統(tǒng)內(nèi)的長度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 (8"- 28") 的范
圍內(nèi)調(diào)整,對于 "G" 長度探頭,一旦確定所需長度,直口接頭可用手指擰緊管密封件。