PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器憑借Ocean Optics微型光纖光譜儀的快速獲取數(shù)據(jù)能力,結(jié)合*的過(guò)程控制系統(tǒng)以及成熟的算法,PlasCalc等離子體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以在3ms內(nèi)測(cè)量200-1100nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的等離子體發(fā)射光譜。
產(chǎn)品特點(diǎn)PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器
- 1.0nm(FWHM)光學(xué)解析度
- 200~1100nm波長(zhǎng)范圍
快速建立和保存實(shí)驗(yàn)方法
調(diào)制步驟編輯
調(diào)制步驟編輯工具可以使用戶(hù)簡(jiǎn)單、快速地設(shè)置、建立和保存實(shí)驗(yàn)方法。利用該工具可以對(duì)多數(shù)復(fù)雜的等離子體過(guò)程建立簡(jiǎn)便而有效的步驟設(shè)置:例如測(cè)量薄膜沉積情況、監(jiān)測(cè)等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測(cè)反常的污染和排放現(xiàn)象等。
用于簡(jiǎn)單的等離子體診斷的多重工具
PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件,所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算能。我們同時(shí)提供一個(gè)可選配的放射波長(zhǎng)數(shù)據(jù)庫(kù),可以另外單獨(dú)購(gòu)買(mǎi),它能夠提供種類(lèi)的鑒定;而波長(zhǎng)編輯器則使用戶(hù)完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個(gè)窗口,可以同時(shí)顯示真實(shí)的光譜和所有控制過(guò)程信息。
產(chǎn)品規(guī)格
光譜范圍 | 200~1100nm |
光學(xué)解析度 | 1.0nm(FWHM) |
數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換器 | 14 bit |
數(shù)字輸入/輸出 | 8 x TTL |
模擬輸出 | 4 x [0-10V] |
連接方式 | USB 1.1 USB 1.1 |
電力消耗 | 12V直流電,1.25A |
電力需求 | 90~240V交流電,50/60Hz |
尺寸 | 257 mm x 152 mm x 263 mm |
重量 | 5 kg |