本原掃描探針顯微鏡（SPM）
高精度計(jì)量型儀器，采用NanoSensors提供的可溯源于計(jì)量機(jī)構(gòu)Physikalisch-Technische Bundesanstalt （PTB）的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)
本原掃描探針顯微鏡(SPM)分辨率： 原子力顯微鏡：橫向0.2納米，垂直0.03納米（以云母晶體標(biāo)定）
（60微米掃描器） 掃描隧道顯微鏡：橫向0.1納米，垂直0.01納米（以石墨晶體標(biāo)定）
本原掃描探針顯微鏡(SPM)
●高精度計(jì)量型儀器，采用NanoSensors提供的可溯源于計(jì)量機(jī)構(gòu)Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)
●一鍵式快速全程全自動(dòng)進(jìn)樣，無(wú)需手動(dòng)預(yù)調(diào)，行程大于30毫米，可容納超大樣品，大樣品尺寸為：45×45×30毫米
CSPM5500LS大樣品尺寸可達(dá)102毫米×102毫米×30毫米
●兩級(jí)可讀數(shù)樣品調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可對(duì)樣品進(jìn)行精確的檢測(cè)區(qū)域定位
可選配軟件智能控制可視化二維高精度電控樣品移動(dòng)平臺(tái)，行程6毫米×6毫米，小步進(jìn)27納米
●一次掃描技術(shù)，圖像分辨高達(dá)4096×4096物理象素，微米級(jí)掃描即可得到納米級(jí)的實(shí)際信息
●*PID反饋算法實(shí)現(xiàn)快速高精度作用力控制，確保系統(tǒng)在高速掃描中穩(wěn)定成像，實(shí)際掃描速度提升一個(gè)數(shù)量級(jí)
●系統(tǒng)采用10M/100M快速以太網(wǎng)(Fast Ethernet 10/100)或USB 3.0與計(jì)算機(jī)連接，支持固件遠(yuǎn)程升級(jí)
●主控機(jī)箱前面板具有16×4液晶顯示屏，系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示
●具備實(shí)時(shí)在線三維圖像顯示功能，便于用戶在檢測(cè)過(guò)程中隨時(shí)直觀獲得樣品信息
●集成了多功能，多模式的新型原子力顯微鏡。
系統(tǒng)功能
●標(biāo)準(zhǔn)模塊：
原子力顯微鏡(AFM)：包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)等多種工作模式
橫向力顯微鏡(LFM)：具有摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷曲線等摩擦學(xué)性能分析測(cè)量功能
掃描隧道顯微鏡(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等
曲線測(cè)量分析功能：力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等
●選配功能：
納米加工：包括圖形刻蝕模式、壓痕/機(jī)械刻畫、矢量掃描模式、DPN浸潤(rùn)筆模式等
磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡
環(huán)境控制掃描探針顯微鏡
液相掃描探針顯微鏡
導(dǎo)電原子力顯微鏡
掃描探針聲學(xué)顯微鏡
該模塊可與其他廠家，包括大部分主流的進(jìn)口SPM聯(lián)用，可單獨(dú)購(gòu)買
掃描開爾文探針顯微鏡
掃描電容顯微鏡
壓電力顯微鏡
該模塊可與其他廠家，包括大部分主流的進(jìn)口SPM聯(lián)用，可單獨(dú)購(gòu)買
樣品溫度控制系統(tǒng)（控溫范圍：-20～150℃）
該模塊可與其他廠家，包括大部分主流的進(jìn)口SPM聯(lián)用，可單獨(dú)購(gòu)買
樣品加熱系統(tǒng)（控溫范圍：室溫～250℃）
