三維表面輪廓儀利用光的干擾,可迅速,準(zhǔn)確,并高檢測性的對1nm~10mm高度的模型的表面想象進(jìn)行納米單位測量。相比接觸性方式,不會對測量物造成任何損傷,相比共焦方式,高解像力無關(guān)倍率均可得到統(tǒng)一結(jié)果,與AFM相比,可在寬測量領(lǐng)域內(nèi)快速測量。
高度解像力0.1nm
任何倍率下,解像力均統(tǒng)一
測量納米等級
測量高速,高精密度,高解像力表現(xiàn)形象
可測量透明/半透明/不透明登各種樣品
無需非破壞,預(yù)加工程序即可輕松測量
反復(fù)性,準(zhǔn)確性,
主要特征
測量高度,長度,段差,線,圓,弧,角度,款,寬,距離
面粗糙度,線粗糙度,波形
測量劃痕,磨損,缺陷
測量面積,大小