產(chǎn)品簡介
善準(zhǔn)科技等離子清洗機(jī)VP-R手動(dòng)版，手動(dòng)控制，13.56MHz物理與化學(xué)作用俱佳，適用于PDMS鍵合，石墨烯粉末清洗，硅材料親水性處理和高分子材料處理。
產(chǎn)品特性
1.BetterReliability，Better Operation
內(nèi)置一路通入氣體，無需再搭配氣體混合儀
簡易、智能化設(shè)計(jì)，避免誤操作
采用數(shù)字顯示壓力，實(shí)時(shí)觀察腔體壓力變化情況
手動(dòng)控制，人機(jī)界面友好
清洗結(jié)束，旋鈕泄壓
泄壓時(shí)長和大小可調(diào)，可通入氮?dú)庑箟?/span>
清洗功率高、中、低三擋可調(diào)
2.補(bǔ)充國內(nèi)技術(shù)空白
柔性電極輸出13.56MHz頻率用于等離子清洗
性能俱佳，在控制自動(dòng)化，人性化設(shè)計(jì)方面前列
腔體低溫，運(yùn)行時(shí)腔體溫度小于32°C
13.56MHz物理作用和化學(xué)作用俱佳
等離子體從腔體向四周發(fā)出，對樣品整個(gè)表面處理更*
VP-R手動(dòng)版與薄膜、玻璃基片和石墨烯等離子處理比對情況
3.質(zhì)量可靠，細(xì)節(jié)決定
石英材質(zhì)腔體，保證腔體更加潔凈，更適合清潔度高材料
國內(nèi)真空泵，保證腔體真空度穩(wěn)定，等離子清洗強(qiáng)度更強(qiáng)
306不銹鋼卡扣，比普通鋁制卡扣更耐用，接口氣密性更好
1.5米不銹鋼波紋管，比橡膠更耐用，密封性更好
高硼硅圓形托盤，避免樣品二次污染
4.經(jīng)典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末雜質(zhì)和油質(zhì)增加石墨烯表面親水基團(tuán)（-OH）提高親水性
金屬工件油污等離子清洗，不損傷樣品，去除表面油污
PDMS等離子清洗，改變表面性質(zhì)，提高粘接能力
橡膠親水性處理
薄膜等離子處理
技術(shù)規(guī)格
型號 ：VP-R手動(dòng)版
腔體材質(zhì)：石英玻璃
腔體容量：2L
內(nèi)腔尺寸：Φ100x200Lmm
射頻功率：160W
射頻頻率：13.56MHz
RF放射：無
頻率偏移量：小于0.2KHz
等離子體轟擊：從四周向中間
腔體溫度：滿功率運(yùn)行30分鐘腔體溫度＜32℃
清洗時(shí)間：手動(dòng)設(shè)置
功率調(diào)節(jié)：高、中、低三擋
顯示屏：無
操作控制：手動(dòng)控制
氣體流量計(jì)：無
提供進(jìn)氣氣路：一路進(jìn)氣，進(jìn)氣量可調(diào)
進(jìn)氣管：一根
泄壓：手動(dòng)開關(guān)泄壓，泄壓速度可調(diào)
真空泵極限真空度：5x10﹣2Pa
抽速：8m3/h
噪音：≤56dB
抽真空時(shí)間：啟動(dòng)到發(fā)出輝光≤35秒（時(shí)間可調(diào)）
真空檢測：無
冷卻方式：風(fēng)冷
腔體門：高強(qiáng)度鋁合金
真空泵控制：主機(jī)與真空泵聯(lián)動(dòng)
供電電源：AC220V/50Hz
箱體平衡：減震橡膠腳杯
外形尺寸(LxWxH)：420x420x320mm
善準(zhǔn)科技等離子清洗機(jī)VP-R手動(dòng)版訂購信息
標(biāo)準(zhǔn)配置 ：主機(jī)、真空泵、1.5米波紋管、清洗托盤、電源線、說明書、合格證、保修卡、提供一路進(jìn)氣管
選配件：1、微量控氣閥（清洗粉末適用）2、高硼硅圓形托盤 3、安捷倫干式真空泵，防止油氣揮發(fā)（高潔凈實(shí)驗(yàn)室適用）
