LED曝光裝置概述:顯微型曝光裝置
- 顯微鏡LED曝光單元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的圖案投影曝光裝置。
- 使用金相顯微鏡盒LED光源DLP投影儀,將具有機(jī)微米分辨率的任意圖案投影到涂有抗蝕劑的基板上進(jìn)行曝光。
- 圖案可以在PC上自由創(chuàng)建。
- 因?yàn)榭梢栽谄胀ǖ氖覂?nèi)環(huán)境中在各種大小盒形狀的單晶薄片上形成電極,所以它比電子束光刻便宜且簡單,不需要制造昂貴的電極圖案掩膜。
顯 顯微鏡LED曝光單元(無掩模曝光系統(tǒng))應(yīng)用:顯微型曝光裝置
- 薄膜FET和霍爾效應(yīng)測量樣品的電極形成
- 從石墨烯/鉬原石中剝離電極形成并評(píng)估其特性
- 研發(fā)應(yīng)用的圖案形成。
顯微鏡LED曝光單元(無掩模曝光系統(tǒng))應(yīng)用:
- 由于顯微鏡和DLP的結(jié)合,可以用很低的成本來構(gòu)建系統(tǒng)。
- 易于使用的軟件可以輕松的創(chuàng)建曝光圖案
- 通過物鏡放大倍率圖案,可以進(jìn)行大范圍的批量曝光
- 可以連接到您自己的顯微鏡上(選項(xiàng))
- 分辨率在微米級(jí)
- 曝光范圍:大2.5mm×1.5mm 小100um×60um
- 可以連接到您自己的顯微鏡上(選項(xiàng))
- 分辨率在微米級(jí)
- 曝光范圍:大2.5mm×1.5mm 小100um×60um
- UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結(jié)合的縮小投影型無掩模曝光系統(tǒng),其*傳統(tǒng)系統(tǒng)(用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統(tǒng)) 可以使用專門為此目的開發(fā)的軟件來創(chuàng)建想要的圖案。