天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國aixACCT雙光束激光干涉儀

aixACCT雙光束激光干涉儀

相關(guān)產(chǎn)品介紹：

雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，以進行長達8英寸的晶圓表征。

用于測量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經(jīng)過驗證的精度（x切割石英），max可達0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點是單次測量的采集時間僅為幾秒鐘?；谛碌臄?shù)據(jù)采集算法，測量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進行此類測量的主要障礙。

技術(shù)數(shù)據(jù):

-解析度:1 pm經(jīng)過x-cut Quartz測試

-位移/應(yīng)變測量:50 Hz-5 kHz

100 mV至10 V

至25 V（可選）

-壓電d 33系數(shù)：

偏壓  ：（1 mHz至1 Hz）

100 mV至10 V

至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

100 mV至10 V

-電致伸縮M 33：類似于d 33

-C（V）測量:

偏壓  ：（1 mHz至1 Hz）

100 mV至10 V

至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

100 mV至10 V

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