產品描述
MicroXAM-800光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。 該系統(tǒng)支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統(tǒng)的相干掃描干涉技術（CSI）。MicroXAM進一步擴展了這些技術，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置，并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。
MicroXAM測量技術的優(yōu)勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑無關，因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區(qū)域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。 MicroXAM的用戶界面創(chuàng)新而簡單，適用于從研發(fā)到生產的各種工作環(huán)境。
主要功能
針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量
SMART Acquire簡化了采集模式并采用已知的程序設置的測量范圍輸入
Z-stitching干涉技術采集模式，可用于單次掃描以及編譯多個縱向(z)距離很大的表面
XY-stitching可以將大于單個視野的連續(xù)樣本區(qū)域拼接成單次掃描
使用腳本簡化復雜測量和工作流程分析的創(chuàng)建，實現(xiàn)了測量位置、調平、過濾和參數(shù)計算的靈活性
利用已知技術，從其他探針和光學輪廓儀轉移算法
