MKS GE50A橡膠密封數(shù)字質量流量控制器,滿量程范圍從5sccm–50slm,精度為設定值的±1%、相應速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度(GM51A除外)。EtherNet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬(0-5V或4-20mA)和數(shù)字(RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus)通訊接口可選。
MKS GE50A通用橡膠密封數(shù)字質量流量控制器精度為設定值的± 1%,相應速度快于500毫秒,不同氣體及量程間自由切換。通過一個*的數(shù)字算法,實現(xiàn)了精度的實時流量控制。與通?;赑ID的數(shù)字MFC相比,它由于能實現(xiàn)工藝氣體流量的實時控制而*提供了控制精度,具有更好的工藝腔室匹配性。
基于EtherNet 用戶通訊口網(wǎng)絡的游覽界面使客戶可以實時地進行控制器的設置和故障排除,從而減少了對“*”MFC的替換并且無需中斷工藝氣體輸送。
例:型號GE50A013502R6V010(代表的是氣體介質是氮氣,流量大是500sccm,配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male,通訊接口是DeviceNet,密封材料是Viton橡膠密封)
GE50A質量流量控制器 采購系列號GE50A
用于標準的氣體(SEMI Gas編號)
氮氣,N2 | 013 |
氨氣,NH3 | 029 |
六氟化硫,SF6 | 110 |
流量范圍,SCCM滿量程(相當于氮氣)
5 | 500 |
10 | 101 |
20 | 201 |
50 | 501 |
100 | 102 |
200 | 202 |
500 | 502 |
1000 | 103 |
2000 | 203 |
5000 | 503 |
10000 | 104 |
20000 | 204 |
30000 | 304 |
50000 | 504 |
裝配件(法蘭接口)
Swagelok 4VCR male | R |
1/4 Swagelok | S |
C-Seal,(92mm port to port) | C |
W-Seal,(92mm port to port) | H |
通訊接口
Profibus | 4 |
RS485 | 5 |
DeviceNet | 6 |
Analog 0 to 5 VDC(9針D型) | A |
Analog 0 to 5VDC (15針D型) | B |
Analog 4 to mA(15針D型) | H |
密封材料
標配:Viton | V |
選配:Neoprene | N |
選配:Buna-N | B |
選配:Kalrez | K |
預留MKS的未來應用
標準 | 0 |
固化軟件版本
除非另有說明,MKS會安裝訂貨日期的固化版本軟件 | 10 |
滿量程流量為3位數(shù)字顯示,前兩位表示量程流量的有效數(shù)字,由小數(shù)點分開;第三位表示10的指數(shù)
注:其他氣體可選,*替代MKS 1179A質量流量控制器