QMG 700 分析質(zhì)譜儀
超越檢測極限且達(dá)到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細(xì)微的分辨率
半導(dǎo)體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或?qū)嶒炇抑?，選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限，推動工藝創(chuàng)新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設(shè)計帶來的性能和適應(yīng)性。利用 QMG 700 增強(qiáng)競爭優(yōu)勢，獲得出眾的測量能力。
根據(jù)具體的應(yīng)用要求，選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數(shù)量級的動態(tài)測量量程，達(dá)到ppb 檢測量級，這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質(zhì)量范圍都有很高的分辨率，對較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰(zhàn)性的測量應(yīng)用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩(wěn)定性可保證關(guān)鍵性的測量，有效控制您的工藝。
INFICON 在分析質(zhì)譜儀領(lǐng)域五十多年的歷史和的技術(shù)，確保QMG 700 成為進(jìn)行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽(yù)世界的應(yīng)用專長，您可獲得始終如一的高精度測量數(shù)據(jù)。
功能
- 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
- 超過九個數(shù)量級的動態(tài)量程
- 極快的測量速度：0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
-
涵蓋整個質(zhì)量范圍的高分辨率：質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)清晰地分離
- 超過 10 個不同的離子源和離子光學(xué)組合
- 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
- 用于正負(fù)離子以及中性粒子分析的離子計數(shù)前置放大器
- IO 選項：8 個模擬輸入/輸出和 32 個數(shù)字輸入/輸出
- 軟件功能強(qiáng)大，靈活實用且具友好的用戶界面
典型應(yīng)用
- Gas discharge mass spectrometry
- End point detection
- Deposition material monitoring
- Secondary ion mass spectrometry
零件號
| QMA 400 | |
|---|---|
| 零件號 | 明細(xì) |
| 490-709 | |
| 490-710 | QMA 400 with axial Ionenq. |
| 490-711 | QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB |
| 490-712 | QMA 400 mit CB-IQ, MAG |
| 490-713 | QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT |
| 490-721 | QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd. |
| 490-722 | QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol. |
| 490-755 | |
| 490-756 | QMA 400, 8mm Mo, UF6 |
| 490-756-2 | QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly |
| 490-770 | QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial |
| 490-772 | QMA 400 with Axial Ionenq, W |
| BKM07627 | |
| PTM07736 | QMA 400 mit Crossb.-Ionenq. |
| QMA 410 | |
| 零件號 | 明細(xì) |
| 490-811 | QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet |
| 490-813 | QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet |
| 490-816 | QMA 410,16mm Mo,217, W, CB |
| QMA 430 | |
| 零件號 | 明細(xì) |
| 490-911 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB |
| 490-912 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT |
| 490-921 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA) |
規(guī)格
| 類型 | QMA 400 | QMA 410 | QMA 430 | |
|---|---|---|---|---|
| 質(zhì)量范圍 | 1-2048 amu (1) | 1-340 amu (2) | 1-300 amu | |
| 傳感器長度 | 441.5 mm | 548 mm | 441.5 mm | |
| 桿直徑 | 8 mm | 16 mm | 8 mm | |
| 桿材料 | Molybdenum | Molybdenum | Stainless Steel | |
| 法蘭 | DN 63 CF-F | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | |
| 檢測器類型 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | |
| 工作壓力 (FC) | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | |
| 工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | |
| 靈敏度 | 5 E-4 A/mbar | 1 E -3 A/mbar | 2 E-4 A/mbar | |
| 最小可檢測分壓 | 1 E-15 mbar | 5 E-16 mbar | 1 E-15 mbar | |
| 分辨率（可調(diào)） | 0.3 - 7 amu | 0.2 - 2.2 amu | 0.3 - 7 amu | |
| 分壓比 | < 0.5 ppb | < 0.5 ppb | < 0.5 ppb | |
| 工作溫度 傳感器 | 150 °C | 150 °C | 150 °C | |
| 烘烤溫度 | 400 °C | 400 °C | 400 °C | |
| 工作溫度 電子單元 | 40 °C | 40 °C | 40 °C | |
| 測量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | |
| 電源 | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | |
(1) QMA 400 的可檢測質(zhì)量范圍為：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。
QMA 400 的規(guī)格基于 512 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置
(2) QMA 410 的可檢測質(zhì)量范圍： 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。
QMA 410 的規(guī)格基于 128 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置
