美國AngstromSciences ONYX系列圓型磁控濺射陰極的設(shè)計，以滿足嚴格的薄膜均勻，靶材利用率，和濺射速率規(guī)格。除了由的異型磁鐵和水冷技術(shù)所提供的*的性能測試結(jié)果，Angstrom Sciences磁控濺射陰極還提供許多其他優(yōu)異性能。
Angstrom Sciences公司生產(chǎn)的的圓形磁控濺射陰極作為已成為*的新標準，除了Angstrom Sciences的*優(yōu)點，還提供許多其他性能優(yōu)點。
1、多功能，緊湊型設(shè)計
其緊湊的設(shè)計使我們的圓形磁控管適合于任何新建或改造應(yīng)用，包括復(fù)雜的集群組件小的真空室。
2、兼容各種形式的電源
低阻抗頭提供了射頻，直流 ，中頻直流，直流脈沖，微波電源的兼容性。
3、標準配件
我們使用ISO標準配件，以及Conflat?金屬密封法蘭。所有附件的維護部分處于大氣中，并使用標準的O形圈密封，易于安裝及維護。
4、尺寸齊全
圓形磁控陰極可選從1到16英寸直徑的規(guī)格，標準或自定義配置。
5、快速，簡便的更換靶材
我們的螺紋式靶材卡環(huán)和陽極屏蔽罩允許你不使用輔助工具即可更換靶材。他們內(nèi)置的可調(diào)節(jié)性也可以讓你輕松適應(yīng)不同厚度的靶材。
6、高真空度，高功率
ONYX ?磁控管可以在極低的壓力（10-4 Torr）的范圍內(nèi)操作， *的直接冷卻設(shè)計，可提供功率密度高達250 watts/in2 ( 30 watts/cm2 ) 。
7、高濺射速率，高性能
更高的功率密度，濺射速率更快。在保持高濺射速率的同時，大化鍍膜面積和靶材利用率（通常在40％的范圍內(nèi)）
8、優(yōu)秀的均勻性
由于我們的異型磁鐵，我們的磁控管也提供更大的沉積均勻性 - 經(jīng)常在± 3-5 ％的范圍內(nèi)。
9、*
所有Angstrom Science的磁控陰極對做工和用料的缺陷保修兩年。磁控陰極是我們的核心業(yè)務(wù)，我們隨時準備著以確保您的滿意度。
選項表格：
1、多功能，緊湊型設(shè)計
其緊湊的設(shè)計使我們的圓形磁控管適合于任何新建或改造應(yīng)用，包括復(fù)雜的集群組件小的真空室。
2、兼容各種形式的電源
低阻抗頭提供了射頻，直流 ，中頻直流，直流脈沖，微波電源的兼容性。
3、標準配件
我們使用ISO標準配件，以及Conflat?金屬密封法蘭。所有附件的維護部分處于大氣中，并使用標準的O形圈密封，易于安裝及維護。
4、尺寸齊全
圓形磁控陰極可選從1到16英寸直徑的規(guī)格，標準或自定義配置。
5、快速，簡便的更換靶材
我們的螺紋式靶材卡環(huán)和陽極屏蔽罩允許你不使用輔助工具即可更換靶材。他們內(nèi)置的可調(diào)節(jié)性也可以讓你輕松適應(yīng)不同厚度的靶材。
6、高真空度，高功率
ONYX ?磁控管可以在極低的壓力（10-4 Torr）的范圍內(nèi)操作， *的直接冷卻設(shè)計，可提供功率密度高達250 watts/in2 ( 30 watts/cm2 ) 。
7、高濺射速率，高性能
更高的功率密度，濺射速率更快。在保持高濺射速率的同時，大化鍍膜面積和靶材利用率（通常在40％的范圍內(nèi)）
8、優(yōu)秀的均勻性
由于我們的異型磁鐵，我們的磁控管也提供更大的沉積均勻性 - 經(jīng)常在± 3-5 ％的范圍內(nèi)。
9、*
所有Angstrom Science的磁控陰極對做工和用料的缺陷保修兩年。磁控陰極是我們的核心業(yè)務(wù)，我們隨時準備著以確保您的滿意度。
選項表格：
| Target size (in.) | Indirect Target Cooling (clamped) | Indirect Target Cooling MAG.II Design | Direct Target Cooling (clamp or bond) | Direct Target Cooling MAG. II Design | "Add" High Temperature 200 degC continuous operation capability / UHV Compatible (10-9 Torr) | "Add" In-situ Tilting | "Add" Standard Internal Flex | "Add" Internal welded fixed angle | "Add" Manual Shutter | "Add" Pneumatic Shutter | "Add" Cross Contamination Shield | "Add" Gas Inlet Ring | "Add" External utility enclosure | "Add" External strain relief |
| 1.0 | ||||||||||||||
| 2.0 | ||||||||||||||
| 3.0 | ||||||||||||||
| 4.0 | ||||||||||||||
| 5.0 | ||||||||||||||
| 6.0 | ||||||||||||||
| 8.0 | ||||||||||||||
