美國AngstromSciences ONYX系列矩形磁控濺射陰極的設(shè)計,以滿足嚴(yán)格的薄膜均勻,靶材利用率,和濺射速率規(guī)格。除了由的異型磁鐵和水冷技術(shù)所提供的*的性能測試結(jié)果,Angstrom Sciences磁控濺射陰極還提供許多其他優(yōu)異性能。
1、更廣泛的解決方案
對于那些需要在大面積基板上沉積或必須實現(xiàn)*的吞吐量的應(yīng)用,矩形磁控陰極提供了完美的解決方案。
2、優(yōu)勢
Angstrom Sciences的矩形磁控陰極采用*封裝的異形釹鐵硼稀土磁體和水冷技術(shù),提供的性能。
3、標(biāo)準(zhǔn)配件
我們使用ISO NW標(biāo)準(zhǔn)配件,以及Conflat 金屬密封法蘭。所有的維護操作都在大氣中進行,使用標(biāo)準(zhǔn)的O型圈密封,易于安裝在任何標(biāo)準(zhǔn)的真空系統(tǒng)中。
4、電源兼容性
低阻抗頭提供了射頻、直流 、中頻直流、直流脈沖以及微波電源的兼容性。
5、經(jīng)過驗證的性能
這些磁控陰極提供的的性能,使得Angstrom Sciences成為行業(yè)的新標(biāo)準(zhǔn)。
在極低的壓力下以*的功率工作,為您提供在任何應(yīng)用中的均勻性、利用率和速率的完美平衡。
6、任何長度
Angstrom Sciences的矩形陰極寬度可從1.5英寸到16英寸,長度可達12英尺。 當(dāng)然,我們*具備設(shè)計并構(gòu)建定制任何滿足您的生產(chǎn)需求的磁控陰極。
7、*
Angstrom Sciences致力于幫助我們的客戶開發(fā)生產(chǎn)力的和具有成本效益的薄膜應(yīng)用,提供世界上的磁控陰極,高品質(zhì)的沉積材料,全面的技術(shù)支持。我們隨時準(zhǔn)備著以確保您的滿意度。