M2值,那么您就知道該過程的耗時(shí)。 測量一次,沿z軸移動(dòng)探測器,在第二個(gè)平面測量,估計(jì)焦點(diǎn)位置,重新調(diào)整z,再次測量......通常是一個(gè)漫長,乏味和復(fù)雜的過程。使用可以實(shí)時(shí)得到測量激光光束的各項(xiàng)參數(shù)且無需繁復(fù)的人工操作便可以得到精確的激光M2,激光發(fā)散角,激光聚焦光斑位置。
BeamMap2和Beam'R2在參數(shù)和功能上的區(qū)別。功能上Beam'R2有的功能BeamMap2基本都有。同時(shí),BeamMap2所以擁有的功能如多個(gè)z平面掃描,實(shí)時(shí)M2,指向,發(fā)散角和焦點(diǎn)位置測量等特點(diǎn)都是Beam'R2所沒有的。
BeamMap2是可商購的多平面光束質(zhì)量分析儀。 DataRay軟件中使用的BeamMap2的屏幕截圖如下所示。 在這里,您可以在四個(gè)不同的z位置看到四個(gè)同時(shí)光束輪廓。 軟件顯示該光束在X,Y和Z中正確聚焦,并且該光束的M2為1.47。
DataRay的Beam'R2非常適合于許多激光光束分析的應(yīng)用。 通過標(biāo)準(zhǔn)的2.5μm寬度大小的狹縫和更大的刀口切面,Beam'R2能夠測量直徑小至2μm的激光光束。 通過選擇硅和InGaAs或擴(kuò)展的InGaAs,Beam'R2可以分析190 nm至2500 nm的光束。 Beam'R2掃描狹縫儀器提供比基于相機(jī)的系統(tǒng)更高的分辨率。BeamMap2代表了一種*不同的實(shí)時(shí)光束分析方法。 它通過允許沿光束行程的多個(gè)位置進(jìn)行測量,擴(kuò)展了Beam'R2的測量功能。 這種實(shí)時(shí)狹縫掃描系統(tǒng)在旋轉(zhuǎn)圓盤上的多個(gè)z平面中使用XY狹縫對,以同時(shí)測量四個(gè)不同z位置處的四個(gè)光束輪廓。 BeamMap2*的設(shè)計(jì)于焦點(diǎn)位置,M2,光束發(fā)散和指向的實(shí)時(shí)測量。
Beam'R2和BeamMap2主要應(yīng)用:
-非常小的激光束輪廓
-光學(xué)組件和儀器對準(zhǔn)
-OEM集成
-鏡頭焦距測試
-實(shí)時(shí)診斷聚焦和對準(zhǔn)誤差
-將多個(gè)裝配體實(shí)時(shí)設(shè)置為相同的焦點(diǎn)
Beam'R2和BeamMap2參數(shù)規(guī)格對比
參數(shù)
參數(shù)值
BeamMap2
Beam'R2
Comments
波長可選范圍(nm)
190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500
Yes
Yes
Si, InGaAs, Si + InGaAs,
被掃描光束直徑
2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X)
Yes
Yes
Si + InGaAs, extended
X-Y 輪廓及中心分辨率:
0.1 μm 或者 0.05% 的掃描范圍
Yes
Yes
精度:
± <2% ± ≤0.5μm
Yes
Yes
CW or Pulsed
連續(xù)/脈沖 小PRR ≈ [500/(激光直徑um)]kHz
Yes
Yes
光束對準(zhǔn)準(zhǔn)直
± 1 mrad with BeamMap2 Colli-Mate
Yes
-
M2 測量
1 to >20, ± 5%
Yes
-
Beam Dependent
實(shí)時(shí)更新
5 Hz
Yes
Yes
4 Z-plane hyperbolic fit
大功率&輻照度
1 W Total & 0.3 mW/μm2
Yes
Yes
Adjustable 2-12 Hz
增益范圍:
32dB
Yes
Yes
Metallic film on Sapphire slits
Display graphics: All: X-Y position; Profiles.
Beam'R2和BeamMap2特點(diǎn):
-實(shí)時(shí)二維狹縫
-分辨率高達(dá)0.1μm
-探測器選項(xiàng),190 - 2500 nm
-5 Hz更新速率(用戶可調(diào)節(jié)2-12 Hz)
-ISO兼容光束直徑測量端口供電的自動(dòng)增益功能可選配件,適用于符合ISO 11146標(biāo)準(zhǔn)的M2測量。
-測量高重復(fù)脈沖激光
脈沖小PRR = [500 /(光束直徑,以μm為單位)] kHz
DataRay掃描狹縫式光束質(zhì)量分析儀BeamMap2所特別具有的特點(diǎn):
-多個(gè)z平面掃描
-使用BeamMap2-Collimate實(shí)時(shí)測量準(zhǔn)直光束的發(fā)散度
-XYZ曲線,外加θ-Φ角度測量焦點(diǎn)位置和直徑實(shí)時(shí)M2,指向和發(fā)散角
-識別焦點(diǎn),重復(fù)精度為±1μm(光束相關(guān))
-可選的LensPlate2用于探測難以接近的光束束腰和重新成像的波導(dǎo)
關(guān)鍵詞:質(zhì)量分析儀 標(biāo)準(zhǔn)