URE-2000/17型紫外深度光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn)：
采用雙目雙視場顯微鏡對(duì)準(zhǔn)；球碗調(diào)平,單片機(jī)控制,觸摸開關(guān),操作方便、實(shí)用性強(qiáng)。
1．技術(shù)參數(shù)
l 曝光面積：4英寸
l 曝光波長：365nm
l 分辨力：1.5mm（膠厚2 mm的正膠）
l 對(duì)準(zhǔn)精度：±1mm
l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm
厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)
l 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
l 照明不均勻性： 5%（f100mm 范圍）
l 雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍
物鏡三對(duì)：4倍、10倍、20倍
目鏡三對(duì)：10倍、16倍、20倍
l 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 汞燈功率：200W（直流）
l 曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（長）?600mm(寬) ?900mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
l 200W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
l 光學(xué)系統(tǒng)
l 冷卻風(fēng)扇
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
l 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
l 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
l 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),手動(dòng)
l 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)
l 承片臺(tái)3個(gè)（f50mm 、?75mm 、 ?100mm ）
l 掩模夾4個(gè)（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
l 掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
l 光源（配備品2只）、電源
l 雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
l 目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
l 物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
l CCD（中國臺(tái)灣）
l 21寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
l 汞燈觸發(fā)電源(200W直流汞燈)
l 單片機(jī)控制系統(tǒng)
l 控制機(jī)箱
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
l 電磁閥驅(qū)動(dòng)
l 氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
l 真空泵一臺(tái)
l 管道
（7）技術(shù)資料
l 使用維修說明書
l 顯微鏡使用說明書
