1 量程范圍 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM

（0~1,2,3,5,10） SLM

2 準(zhǔn)確度 +1.5%F.S

3 線性 +0.5~1.5%F.S

4 重復(fù)精度 +0.2%F.S

5 響應(yīng)時(shí)間 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec

6 工作壓差 0.1~0.5MPa

7 耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa

8 工作環(huán)境溫度 0~70℃

9 數(shù)字量 RS485 MODBUS協(xié)議

10 模擬量 DC0~5V，4~20mA可選

11 供電 DC+15V/24V可選，流量計(jì)＜50mA，控制器＜200mA

12 電氣連接 DB15

13 漏率 1×10 -8SCCSHe

14 底座材質(zhì) 316L不銹鋼

15 密封材質(zhì) 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠

16 氣路街頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

注意:

質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)?font face="Times New Roman">(N₂)標(biāo)定.

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 溫度-----273.15K (0℃);

氣壓-----101325Pa （760mm Hg）

F.S(FullScale); 滿量程值

微小氣體流量計(jì)工作原理

AX10FD系列氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金RTD絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316不銹鋼包裝殼內(nèi)。

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