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微小氣體質(zhì)量流量計 小流量氣體控制器 實驗專用氣體質(zhì)量控制器 A

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2021-07-13
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量807
  • 人氣值1345
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微小氣體質(zhì)量流量計小流量氣體控制器實驗專用氣體質(zhì)量控制器AX10FD一、概述微小氣體質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制
微小氣體質(zhì)量流量計 小流量氣體控制器 實驗專用氣體質(zhì)量控制器 A 產(chǎn)品詳情

 微小氣體質(zhì)量流量計 小流量氣體控制器 實驗專用氣體質(zhì)量控制器 AX10FD 

一、概述
微小氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、***和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
二、 工作原理
AX10FD 系列氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

三、技術(shù)參數(shù)

質(zhì)量控制器 微小氣體質(zhì)量流量計 AX10FD 實驗專用氣體質(zhì)量計
四、產(chǎn)品特點:

- 可實現(xiàn)小流量測試,精度高
- 低功耗便攜式設(shè)計   
- RS485通訊方式可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中化管理
- 實時監(jiān)測瞬時流量和計算累計流量
- 密碼管理,超限報警
- 友好的接口方式,實用于各種氣體監(jiān)測的應(yīng)用場合
- 銅制管體(可選)能夠用于各種氣體介質(zhì)測量
- 體積小,易于安裝

 

 微小氣體質(zhì)量流量計 小流量氣體控制器 實驗專用氣體質(zhì)量控制器 AX10FD
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