這款XYZ壓電掃描臺Piezo scanning Stage是為納米壓電掃描定位設(shè)計的三維壓電掃描臺和納米電掃描臺,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描,原子力顯微鏡壓電掃描和微納操作,非常在開放和閉環(huán)系統(tǒng)中的光學(xué)元件壓電掃描定位和掃描探針壓電掃描應(yīng)用。
XYZ壓電掃描臺活動的中心部件掛在柔性彈簧上，由壓電驅(qū)動器驅(qū)動，確保了應(yīng)用的高剛度和高穩(wěn)定性。XYZ壓電掃描臺的設(shè)計為運(yùn)動提供了的線性和平整度,與經(jīng)典的采用壓電陶瓷管的壓電掃描臺相比具有更高機(jī)械強(qiáng)度。
XYZ壓電掃描臺配備了電容位移傳感器，包括在數(shù)字反饋鏈系統(tǒng)內(nèi)，進(jìn)行數(shù)字閉環(huán)控制。它提供了高精度和線性運(yùn)動，消除了對壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)。測量電容傳感器的TDC芯片（時間數(shù)字轉(zhuǎn)換器），安裝柱離傳感器最近的位置，發(fā)出電子信號與測量得的電容成正比。這樣可以將外部噪音的影響還可以使用長電纜連接到控制器。

XYZ壓電掃描臺特點(diǎn)
即可以用作XYZ三維壓電掃描臺,也可以用于二維壓電掃描臺
雙電容傳感器反饋技術(shù)
低頻噪聲電阻
補(bǔ)償壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)
水平方向上掃描位移行程200µm
垂直方向位移行程20µm
超高分辨率為0.1nm
低成本
設(shè)計緊湊，重量輕，剛度高
是顯微鏡應(yīng)用的理想XYZ三維壓電掃描臺
通用性強(qiáng)
具有真空版本的XYZ三維壓電掃描臺
XYZ壓電掃描臺應(yīng)用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學(xué)應(yīng)用
生物學(xué)研究
電子學(xué)應(yīng)用
微操作等
XYZ壓電掃描臺規(guī)格
運(yùn)動特性
主動軸 XY(Z)
XY運(yùn)動范圍 200 x 200µm
Z軸運(yùn)動距離 20µm
分辨率（閉環(huán)） 1nm
分辨率（開環(huán)） 0.1nm
整范圍內(nèi)的角度傾斜 ＜0.01°
掃描速度 10Hz
控制性能
XY軸電容量 30pF
Z軸電容量 35pF
機(jī)械性能
諧振頻率Z軸 30KHz
諧振頻率XY軸 1KHz
負(fù)載能力 100g
操作溫度范圍 - 40~80°C
尺寸 100x100x33mm
材料 鋁