這款萬向旋轉傾斜臺是采用直驅電機制造的萬向載物臺和萬向工作臺,具有傾斜和旋轉功能提供萬向定位,廣泛用作3D激光打印萬向載物臺和微納制造萬向工作臺架。
萬向旋轉傾斜臺采用3相無鐵線性無刷伺服電機BLDC技術,為用戶帶來零反沖高精度萬向傾斜旋轉運動,具有*精度高,重復精度高和摩擦低的特點。
萬向旋轉傾斜臺采用線性非接觸式光學編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達亞納米級分辨率。
萬向旋轉傾斜臺采用自然老化鋁合金確保了萬向節(jié)臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長周期運動,導軌系統(tǒng)不會發(fā)生漂移。
萬向旋轉傾斜臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空萬向傾斜旋轉臺。
萬向旋轉傾斜臺可以輕松地直接連接到光學平臺上,也可與直驅線性平移臺搭建成電動4軸定位平臺系統(tǒng),非常適合微納制造。
萬向旋轉傾斜臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實現(xiàn)高精度萬向定位。
萬向旋轉傾斜臺規(guī)格參數(shù)
1) 默認為x4轉PPR-脈沖數(shù)/每轉，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關儀器測試,電子自相關儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅動器CUT-OF頻率以及導向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負載能力由導向系統(tǒng)決定.
7) 運動質量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒有負載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 標量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
萬向旋轉傾斜臺采用3相無鐵線性無刷伺服電機BLDC技術,為用戶帶來零反沖高精度萬向傾斜旋轉運動,具有*精度高,重復精度高和摩擦低的特點。
萬向旋轉傾斜臺采用線性非接觸式光學編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達亞納米級分辨率。
萬向旋轉傾斜臺采用自然老化鋁合金確保了萬向節(jié)臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長周期運動,導軌系統(tǒng)不會發(fā)生漂移。
萬向旋轉傾斜臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空萬向傾斜旋轉臺。
萬向旋轉傾斜臺可以輕松地直接連接到光學平臺上,也可與直驅線性平移臺搭建成電動4軸定位平臺系統(tǒng),非常適合微納制造。
萬向旋轉傾斜臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實現(xiàn)高精度萬向定位。
萬向旋轉傾斜臺規(guī)格參數(shù)
| 傾斜軸向 | Tilt (A) Axis | Yaw (B) Axis |
| 運動學和反饋系統(tǒng)規(guī)格參數(shù) | ||
| 角度范圍 | ±130度 | ±360度 (無限) |
| 編碼器類型 | 光學編碼器 | |
| 編碼器型號 | LEN2 | |
| 編碼器分辨率 1) | 0.023~0.184arcsec | |
| 編碼器接口 | 差分RS422 或模擬SIN/COS | |
| 內(nèi)部放大倍數(shù) | YES (optionally analog SIN/COS) | |
| 放大系數(shù) | 4-200 (on demand) | |
| Encoder Grating Period | 20µm | |
| Reference Mark (Index) | Yes | |
| Absolute Accuracy 2) | ||
| Before Calibration | ±218 / ±45.00 µrad / arcsec | |
| After Calibration | ±14.54 / ±3.00 µrad / arcsec | |
| Uni-Directional Repeatability, µrad / arcsec | N/A | |
| Bi-Directional Repeatability (peak to peak) 2) | ±7.30 / ±1.50 µrad / arcsec | |
| Bi-Directional Repeatability (RMS) 2) | ±2.90 / ±0.60 µrad / arcsec | |
| 偏心率Eccentricity 3) | ±5.00 µm | |
| 擺動Wobble 3) | ±19.40 / ±4.00 µrad / arcsec | |
| Maximum Velocity (no load, @300VDC) 4) | <9000 / 1500 deg/s / RPM | |
| Maximum Acceleration (no load) 5) | 1080000 / 180 deg/s2 / kRPM/s2 | |
| Maximum torque (continuous)5) | 5.4Nm | |
| Limits Switches | N/A | |
| Load, Guiding & Transmission Information | ||
| Design Type | Torque Motor (Direct-Drive) Two-Axis Rotation (Gimbal) Stage | |
| Motor Model | TM1 | |
| Motor Design Type | Torque Motor | |
| Maximum Bus Voltage, VDC | <320 | |
| Load Capacity (Centrally Placed) 6) | ||
| Horizontal | 1kg | |
| Vertical | 1kg | |
| Moving Mass 7) | 6.6kg | 1.55kg |
| Guiding System | Crossed roller bearings | |
| Material & Environment Conditions | ||
| Housing Material | Aluminum Alloy | |
| Housing Coating (Finish) | Black Anodizing | |
| Environment Pressure | Normal Atmosphere | |
| Operating Temperature, °C | 20±2 | |
| Control, Communication and Cabling | ||
| Recommended Controllers 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series | |
| Recommended Drivers 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series | |
| Recommended Power Supply 9) | 2 phase / 3 phase source | |
| Recommended Communication Interface 11) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP | |
| Cable Length, m | 2 (other by request) | |
| Differential Outputs 10) | On request | |
| Accessories Information | ||
| Base Plate for Mechanical Interface | Not required | |
| Additional Details | ||
| Magnetic Brake | Yes | No |
| Dimensions of Moving Platform | Ø90mm | |
| Central Aperture | N/A | Ø15mm |
| Overall Linear Stage Dimensions (W x L x H) | 149 x 349 x 161mm (entire system) | |
| Measurement System | Metric / Imperial (Base) | |
| RoHS | Compliant | |
| Weight, kg | 12.3kg (entire system) | |
2)精度和雙向重復定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關儀器測試,電子自相關儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅動器CUT-OF頻率以及導向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負載能力由導向系統(tǒng)決定.
7) 運動質量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒有負載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 標量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
