型號MR200 | |||
控制 | 腳步開關(guān)控制（上/下） | 晶圓承載臺角度 | 螺旋測微儀控制，可粗/精調(diào)節(jié)，分辨率10µm（0.006°） |
劃片力量 | 可調(diào)（通過氣壓閥） | 晶圓承載臺旋轉(zhuǎn) | 90°固定旋轉(zhuǎn) |
刀頭速度 | 可調(diào) | X-Y位移臺 | 手動，有效行程200x200mm，帶有粗/精微調(diào)螺絲，精20mm/10mm |
刀頭角度 | 可調(diào) | 劃片距離 | 200mm |
刀頭高度 | 可調(diào)，以用于不同厚度的樣品 | 氣壓要求 | 6bar（對于硅晶圓，使用1.9bar) |
顯微鏡 | 高質(zhì)量4倍變焦，放大倍數(shù)8X/40X，無極調(diào)整 | 光源 | 冷光源，環(huán)狀，220V |
目鏡十字線 | 用于根據(jù)參考標(biāo)準(zhǔn)、結(jié)構(gòu)、邊界或其它精密調(diào)整劃線 | 晶圓厚度 | 所有硅晶圓標(biāo)準(zhǔn)厚度 |
光學(xué)元件分辨率 | 40X時(shí)優(yōu)于10µm | 可切割材質(zhì) | 硅、藍(lán)寶石等 |
晶圓承載臺 | 抽真空，直徑100/200mm | 可選 | 視頻系統(tǒng)/圖像處理系統(tǒng)、可選更大放大倍率/分辨率的光學(xué)元件 |
| |||
1、 數(shù)字測量 | |||
100mm/200mm橫向移動。25mm測微計(jì)可以由數(shù)字測微計(jì)量計(jì)替代。 可選的數(shù)字計(jì)量計(jì)測量范圍100mm/200mm，讀數(shù)10um，這個(gè)選項(xiàng)能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線距離可以與90度旋轉(zhuǎn)的晶片夾相連，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線。只有精定可以擴(kuò)展到100mm代替25mm、100mm和200mm數(shù)字計(jì)量計(jì)在結(jié)構(gòu)上有一些不同，當(dāng)100mm數(shù)字計(jì)量計(jì)通過粗定位不能測量時(shí)，200mm將被使用，因?yàn)闄C(jī)械施力更高，MR200可以擴(kuò)展到500mm機(jī)械寬度。 | |||
| |||
2、 相機(jī)適配器升級套裝 | |||
CCD相機(jī)適配器升級套裝由顯微鏡組建群構(gòu)成。此外，相機(jī)和用于圖像處理的顯示器或PC是的，客戶能自行選擇。 | |||
| |||
3 、 彩色視頻系統(tǒng) | |||
lUSB 2.0 CCD相機(jī) | |||
l一體化計(jì)算機(jī) | |||
l圖像處理軟件 | |||
l與相機(jī)適配器相連的升級套裝能通過目鏡和顯示器同時(shí)監(jiān)測顯微鏡圖像 | |||
圖像處理系統(tǒng)有如下的功能： | |||
l相機(jī)圖像由顯示器直播視頻 | |||
l圖像格式JPG或者BMP，可以存儲、加載和文字 | |||
l十字標(biāo)線、柵格和標(biāo)尺 | |||
l可測量：距離、角度、半徑、范圍和長度 | |||
| |||
4、 線寬測量 | |||
圖像處理軟件另一個(gè)擴(kuò)展工具是線寬的測量，這個(gè)模塊用于半導(dǎo)體行業(yè)高精度的寬度和距離的測量。測量是通過圖像的灰度值分布實(shí)現(xiàn)。不需要手動設(shè)定標(biāo)記。 | |||
| |||
5、 MR200基本配置 | |||
一般來說，MR200不配備顯微鏡和光源，客戶可以自己使用自己的相關(guān)組件。顯微鏡必須有一個(gè)大約70mm的工作距離。 | |||
| |||
6、 氣動電源發(fā)生器 | |||
電磁鐵驅(qū)動電源，如果這種方式電力不足，可采用氣動電源。 精確的劃線，容易的操作：晶片被裝載定位后，顯微鏡聚焦在晶片表面，通過手動驅(qū)動工作臺的x和y方向移動。劃線能調(diào)節(jié)到參考的標(biāo)記或樣品的位置。高質(zhì)量的變焦顯微鏡能快速改變距離，實(shí)現(xiàn)樣品的整體視圖和詳細(xì)監(jiān)測。通過工作臺的x/y方向微調(diào)功能，能實(shí)現(xiàn)精確定位。金剛刀的著陸點(diǎn)是可調(diào)的。目鏡或顯示器的十字標(biāo)線能確定金剛刀的著陸點(diǎn)，通過腳踏開關(guān)控制升降。因此金剛刀的移動可以通過雙手控制的。 | |||
