型號(hào) | SURFTENS universal （通用型） | SURFTENS HL （專業(yè)晶圓檢測） | SURFTENS Automatic （工業(yè)型） | SURFTENS WH30 （工業(yè)型） |
手動(dòng)/自動(dòng) | 手動(dòng) | 手動(dòng) | 自動(dòng) | 自動(dòng) |
測量臺(tái) | 標(biāo)準(zhǔn)支承面100mm× 100mm（可拓展），高度可調(diào)（50mm） | 適用于200mm或300mm晶圓的可選，樣品最厚5mm | 標(biāo)準(zhǔn)測量區(qū)域200× 200mm。適用大平面（如液晶玻璃基板，8-12 英寸英寸的晶圓等）樣品厚度5mm，可全自動(dòng)高精度定位 | 3軸晶圓裝載機(jī)械臂，適用于直徑200mm和300mm晶圓；200mm晶圓裝載系統(tǒng)或300mm前開式晶圓送盒；激光晶圓掃描器；真空吸盤系統(tǒng)；開槽系統(tǒng) |
滴液系統(tǒng) | 手動(dòng)滴液，高度可調(diào)，可升級(jí)雙注射器、自動(dòng)滴液系統(tǒng)，添加電極驅(qū) | 動(dòng)和軟件控制功能，用戶可自定義滴液量 | 自動(dòng)滴液（電機(jī)驅(qū)動(dòng)），軟件控制單次劑量 | 與Automatic類似，全自動(dòng)馬達(dá)，可通過編程控制液體精準(zhǔn)定位在晶圓上的滴點(diǎn)位置與滴液過程 |
光學(xué)系統(tǒng) | 顯微物鏡0.8x（可升級(jí)1.6x/3.2x），光學(xué)傾角可調(diào)（0-6°） | 1倍固定放大倍率，電機(jī)驅(qū)動(dòng)對(duì)焦，光學(xué)儀器傾角1° | 固定放大倍率，電機(jī)驅(qū)動(dòng)對(duì)焦，光學(xué)儀器傾角1°。高分辨率CCD相機(jī)，440,000像素 | 附帶光學(xué)系統(tǒng)，高分辨率CCD相機(jī)，440,000像素 |
圖像采集系統(tǒng) | USB2.0相機(jī)（黑/白，130萬像素，可升級(jí)500萬像素和模擬攝像機(jī)） | 高分辨率CCD相機(jī)，440,000像素 | ||
光照單元 | 長壽命高能LED燈，亮度可調(diào) | 長壽命平板燈，亮度可調(diào) | 長壽命平板燈，亮度可調(diào) | 長壽命平板燈，亮度可調(diào) |
擴(kuò)展組件 | 傾斜裝置（手動(dòng)，傾斜角90°，分辨率1°）；接觸角測量基板（一種通過使用光刻工藝顯示接觸角照片，用于核查測量儀器精度玻璃基板）；恒溫箱（軟件控制，可以在高達(dá)80°進(jìn)行接觸角測量）。 | 傾斜裝置、接觸角測量基板、恒溫箱等 | - | 電熱板（清除表面遺留滴液）；風(fēng)機(jī)FFU（空氣過濾） |
控制軟件 | 主要根據(jù)滴液法，可通過不同水滴形狀的擬合方法全自動(dòng)測量水滴的 接觸角，可手動(dòng)設(shè)置基準(zhǔn)，手動(dòng)測量接觸角，從兩種已知測量液體計(jì) 算測量接觸角固體的表面自由能。 | 主要根據(jù)座滴法，并依據(jù)不同的擬合方程（球形、 多項(xiàng)式），來實(shí)現(xiàn)液體與固體表面接觸角的全自動(dòng)測量。滴液落在晶圓表面后，被軟件自動(dòng)識(shí)別 用戶還能通過操縱桿調(diào)整，并手動(dòng)定義基線。 | 軟件內(nèi)含評(píng)估模塊（Wu氏理論），通過兩種已知的測量液體來計(jì)算固體的表面自由能。軟件可通過掃描接口獲得所有圖像，可自動(dòng)計(jì)算的縮放比例。圖片文件可以BMP格式、JPEG格式等復(fù)制、讀取、儲(chǔ)存和打印。實(shí)時(shí)顯示接觸角的圖像（可選）；測量前進(jìn)和后退接觸角（可選）全自動(dòng)檢測隨時(shí)間變化的接觸角，時(shí)間間隔自由設(shè)定，最小50ms，在圖表顯示（可選）；同時(shí)測量左右接觸角，并計(jì)算中值（可選） | 內(nèi)含評(píng)估模塊（Wu氏/OWRK理論），且測量系統(tǒng)提供液體數(shù)據(jù)庫，可供不同液體間測量比對(duì)，通過測量兩種不同液體的接觸角，計(jì)算被測晶硅的表面自由能。配高性能視頻數(shù)字化板（圖像采集卡），測量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)搭建網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸、備份和存儲(chǔ)。軟件能自動(dòng)識(shí)別裝載端口、插槽分配情況，可區(qū)分不同尺寸的硅晶圓片并自動(dòng)分配，在測量前自動(dòng)開槽。 提供3種用戶級(jí)別選擇，可定制 |
軟件功能拓展 | 軟件內(nèi)含評(píng)估模塊（Wu氏/OWRK理論），能夠提供固體表面和5種以下液體的接觸角測量，并進(jìn)行表面自由能計(jì)算；軟件還能實(shí)時(shí)視頻錄像，以AVI格式保存；最后檢測的結(jié)果也可以保存為一個(gè)記錄文檔或者視頻圖像。 軟件功能拓展實(shí)時(shí)視頻圖像顯示當(dāng)前接觸角；設(shè)定檢測時(shí)間間隔，并測量與時(shí)間相關(guān)的接觸角情況，顯示在圖表上（時(shí)間間隔自由設(shè)定，最小50ms）；在實(shí)時(shí)圖像上測量前進(jìn)和后退接觸角；同時(shí)測量左右兩邊的接觸角，并計(jì)算中值；測量滴液期間和滴液后液體體積。 | 控制器：3軸步進(jìn)電機(jī)控制器，可進(jìn)行微小步距操作，控制樣品在X/Y軸方向定位，控制滴液針頭在Z軸方向定位 | 控制器：3軸步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)晶圓承載平臺(tái)，定位精度±0.05mm | |
接觸角測量范圍 | 1°-180° | 1°-180° | 1°-180° | 1°-180° |
測量分辨率 | 0.05° | 0.05° | 0.05° | 0.05° |
測量重復(fù)性 | ±0.1° | ±0.1° | ±0.1° | ±0.1° |
測量精度 | ±0.5° | ±0.5° | ±0.5° | ±0.5° |
液滴體積再現(xiàn)性 | 0.1μL（根據(jù)實(shí)時(shí)視頻圖像得出） | 0.1μL（根據(jù)實(shí)時(shí)視頻圖像得出） | 0.1μL | 0.1μL |
應(yīng)用 | 在特殊表面處理技術(shù)中，通過工藝特性、工藝參數(shù)的調(diào)整和生產(chǎn)控制使表面潤濕能力改變前后，客觀準(zhǔn)確地測量表面自由能。 SURFTENS universal是一套堅(jiān)固耐用、實(shí)用性強(qiáng)的接觸角測量儀器，特別適應(yīng)工業(yè)領(lǐng)域和科學(xué)研究的需求。而且該儀器操作簡單，經(jīng)過短期的培訓(xùn)，任何人都能輕松使用。 | SURFTENS HL是專為半導(dǎo)體工業(yè)及科學(xué)研究而開發(fā)的接觸角測量儀器，特別適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，客觀地測量晶圓表面處理前后的自由能，檢查硅晶圓的潤濕能力，在生產(chǎn)過程中控制技術(shù)參數(shù)、保證生產(chǎn)質(zhì)量或開發(fā)新的鍍膜技術(shù)，由于系統(tǒng)的穩(wěn)定性高，特別適合作為標(biāo)準(zhǔn)儀器，用于技術(shù)控制。 | 針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)計(jì)，特別是用于控制晶圓的涂層和光刻工藝。檢查硅晶圓表面潤濕能力，客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能，生產(chǎn)中控制技術(shù)參數(shù)、保證生產(chǎn)質(zhì)量或開發(fā)新的鍍膜技術(shù)。適用于無塵室要求。 | 應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的，專業(yè)全自動(dòng)表面張力檢測分析；實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝載與測量結(jié)合（FOUP→裝載→滴液→測量→移液→FOUP），可應(yīng)用于無塵室中，潔凈等級(jí)：100。 |
