類型

控制器

工作頭

VR-3100,VR-3050

觀察測(cè)量范圍

大視野模式

15 英寸顯示器上的倍率 12x

橫(H)

24mm

縱(V)

18mm

15 英寸顯示器上的倍率 25x

橫(H)

12mm

縱(V)

9mm

15 英寸顯示器上的倍率 38x

橫(H)

8mm

縱(V)

6mm

15 英寸顯示器上的倍率 50x

橫(H)

縱(V)

4.5mm

高倍率模式

15 英寸顯示器上的倍率 40x

橫(H)

7.6mm

縱(V)

5.7mm

15 英寸顯示器上的倍率 80x

橫(H)

3.8mm

縱(V)

2.9mm

15 英寸顯示器上的倍率 120x

橫(H)

2.5mm

縱(V)

1.9mm

15 英寸顯示器上的倍率 160x

橫(H)

縱(V)

1.4mm

變焦

1 至 4 倍

可測(cè)量高度

大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)^*1

顯示分辨率

0.1 µm (VR-3200/3100)、0.5 µm (VR-3050)^*2

重復(fù)精度(б)

高度測(cè)量

0.5 µm^*3

寬度測(cè)量

大視野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm^*3

載物臺(tái)

XY 行程

大 270 mm^*4(標(biāo)準(zhǔn)時(shí) 70 mm^*5)

Z 行程

90 mm(電動(dòng))

旋轉(zhuǎn)構(gòu)造

±90°

傾斜構(gòu)造

±30° 以上

操作距離

75 mm

圖像接收元件

1 英寸 400 萬像素單色 C-MOS

投光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭 x2

受光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭

照明系統(tǒng)

觀察用光源

LED 環(huán)形照明(紅、綠、藍(lán))(VR-3100),LED環(huán)形照明(白)(VR-3050)

測(cè)量用光源

白色 LED

圖像尺寸

1024 x 768 pix, 2048 x 1536 pix

數(shù)據(jù)處理部

基恩士 PC(OS 為 Windows7)^*6

額定

電源電壓

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

功率消耗

150 VA

環(huán)境抗耐性

相對(duì)濕度

35 至 80 % RH (無凝結(jié))

重量

3.8 kg

^*1 以焦點(diǎn)位置為中心低倍側(cè) ±5 mm、高倍側(cè) ±0.5 mm 的范圍
^*2 高度測(cè)量的分辨率
^*3 被測(cè)物體為基恩士校準(zhǔn)試塊。在平均高度差模式下測(cè)量所得的值。
^*4 使用連接用手動(dòng)滑塊 OP-87717 時(shí)　
^*5 VR-3050 需要另售的 Xy 載物臺(tái)(OP-87715)
^*6 Windows7 Professional 及 Ultimate。

基恩士3D測(cè)量儀 3D輪廓測(cè)量儀