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  • ULVAC有機膜蒸發(fā)實驗裝置 齒輪泵

ELORA-100/ELORA-200/ELORA-500 ULVAC有機膜蒸發(fā)實驗裝置 齒輪泵

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號ELORA-100/ELORA-200/
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-12-16
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1258
  • 人氣值2879
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ULVAC有機膜蒸發(fā)實驗裝置ELORA-100(有機膜用)極限壓力8
ULVAC有機膜蒸發(fā)實驗裝置 齒輪泵 產(chǎn)品詳情

ULVAC有機膜蒸發(fā)實驗裝置



ELORA-100(有機膜用)

極限壓力

8.0 X10-2(未使用液氨時)

真空室

供給連接系統(tǒng)預(yù)留16個接口+鐘罩

基板電極

4點式(2點切換+2點切換)

蒸發(fā)電源

DC10V-40A、400W?2式(數(shù)字表示)

膜厚監(jiān)測器

水晶振動式膜厚控制器 CRTM-9000

真空泵

皮拉尼真空計GP-1S、電離真空計GI-TL3

排氣系統(tǒng)

渦輪分子泵
300L/s
UTM-300)
油旋片真空泵

200L/min
GLD-201A

本體尺寸
(mm)

530?()×480()×1180(高)

重量

80kg(主機)

電力

1φ 100V1.6kVA、
3φ 200V 1.2kVA

選購件

改變電極構(gòu)成、溫度監(jiān)測器(基板、蒸發(fā)盤)、改變真空計、擋板、改變排氣系統(tǒng)真空泵(渦旋型干泵、油擴散泵、低溫泵)、其它

ELORA-200(電極膜用)

極限壓力

4.0 X10-4(未使用液氨時)

真空室

供給連接系統(tǒng)預(yù)留16個接口+鐘罩

基板電極

2點切換式

蒸發(fā)電源

AC10V-150A、1.5kW??。笔剑ǚ抡姹硎荆?/span>

膜厚監(jiān)測器

水晶振動式膜厚控制器 CRTM-6000

真空泵

皮拉尼真空計GP-1S、電離真空計GI-TL3

排氣系統(tǒng)

渦輪分子泵
300L/s
UTM-300)
油旋片真空泵

200L/min
GLD-201A

本體尺寸
(mm)

530?()×480()×1180(高)

重量

80kg(主機)

電力

1φ 100V0.8kVA、
3φ 200V 1.2kVA
、
1φ 200V 2.0kVA

選購件

改變電極構(gòu)成、溫度監(jiān)測器(基板、蒸發(fā)盤)、改變真空計、擋板、改變排氣系統(tǒng)真空泵(渦旋型干泵、油擴散泵、低溫泵)、其它

ELORA-500(蒸發(fā)室+準(zhǔn)備室)

極限壓力

4.0 X10-4(未使用液氨時)

真空室

真空室 帶準(zhǔn)備室的2室、帶水平傳送機構(gòu)

基板電極

電阻加熱式蒸發(fā)源、標(biāo)準(zhǔn)8(有機膜6點、金屬膜2)
T/S
間距離、250-300mm

蒸發(fā)電源

有機膜用:DC400W、2
金屬膜用:AC1、5KW、1

真空泵

蒸發(fā)室:電離真空計 GI-TL3、皮拉尼真空計GP-1S
準(zhǔn)備室:渦旋型干式泵90L/min

排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)室:TMP(600L/s)+渦旋型干式真空泵250L/min
準(zhǔn)備室:渦旋型干式真空90L/min

本體尺寸
(mm)

1620()×650()×1550(高)
(
控制盤)

重量

400kg(本體)150Kg(控制盤)

電力

1φ 100V、3kVA
3φ 200V
、3kVA、(50/60Hz)

特別規(guī)格

蒸發(fā)室(有機膜、金屬膜分分割):真空3(蒸發(fā)室2+準(zhǔn)備室)、基板、蒸發(fā)盤的溫度測定器、追加基板收納器、氣體導(dǎo)入、真空排氣系統(tǒng)變更、可動面罩、其它






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