RFS-200/SCOTT-C1/SCOTT-C3/VPS-020/VPS-050 ULVAC濺射裝置齒輪泵-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

安捷來的經(jīng)營理念：高品質(zhì)創(chuàng)造高價(jià)值，用高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)為客戶創(chuàng)造*大的科研及商業(yè)價(jià)值。安捷來勒一貫以“科技保證質(zhì)量，服務(wù)完善產(chǎn)品”為宗旨，以廣泛深厚的國際關(guān)系、強(qiáng)大的營銷和售后服務(wù)力量、雄厚的技術(shù)實(shí)力，為優(yōu)異科研領(lǐng)域提供歐美、日本等高性能的，在世界范圍內(nèi)采取*新技術(shù)生產(chǎn)的10,000余種科研儀器設(shè)備及理想的研究、生產(chǎn)技術(shù)環(huán)境，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、醫(yī)藥、化工、化妝品、涂料、石油、食品等行業(yè)及高校、檢驗(yàn)檢疫局、商檢、藥檢、軍科院、中科院等科研機(jī)構(gòu)。經(jīng)過10年的經(jīng)驗(yàn)積累，安捷來勒能夠?yàn)榭蛻籼峁㊣T、半導(dǎo)體、醫(yī)藥、化工、食品等行業(yè)產(chǎn)品檢測及品質(zhì)管理的整體實(shí)驗(yàn)室解決方案和專業(yè)化服務(wù)。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

ULVAC濺射裝置小型高頻濺射裝置結(jié)構(gòu)小巧、價(jià)格低廉的試驗(yàn)裝置RFS-200靶材尺寸80厚度1-5mm真空室200mm(長)250mm(寬)150mm(高）SUS?304制前面開門基板電極80Cu制加熱

ULVAC濺射裝置齒輪泵產(chǎn)品詳情

ULVAC濺射裝置

小型高頻濺射裝置

結(jié)構(gòu)小巧、價(jià)格低廉的試驗(yàn)裝置

RFS-200

靶材尺寸	φ80厚度1-5mm
真空室	200mm(長)×250mm(寬)×150mm(高） SUS?304制前面開門
基板電極	φ80Cu制加熱。冷卻式
靶電極	φ80Cu制冷卻
擋板	φ95厚度1mm手動操作
RF電源	200W×13.56MHz 帶與RF電源匹配的電路
基板加熱電源	管加熱器加熱自動溫調(diào)MAX350℃ 溫度指示計(jì) (數(shù)字型)
排氣系統(tǒng)	F-250油擴(kuò)散泵（240L/sec）油旋片真空泵G-100D（100L/min）主閥2。5英寸蝶閥水冷閥三向切換閥皮拉尼真空計(jì)(數(shù)字型２點(diǎn)式)
本體尺寸	800mm(長)×630mm(寬)×1450mm(高）
重量	200kg
電力	100V　1φ　1.3kVA
RF電力	100V　1φ　0.5kVA
冷卻水用量	0.2MPa　5L/min　25℃以下
選購件	液氨冷阱、磁控管、電離真空計(jì)、追加氣體導(dǎo)入、排氣口過濾器、基板加熱650C

性能

極限壓力		6.7X10^-4
排氣時(shí)間		10^-3Pa/5min
基板加熱溫度		MAX350℃
濺射壓力		10^-1PaAr氣體
靶材	導(dǎo)體半導(dǎo)體絕緣體	Al、Cu、Au、Cr等 Si、Ge、Se等 SiO₂、Al₂O₃ 等

*可選擇渦輪分子泵、渦選型干泵情聞訊。

小型磁控管濺射裝置

具備豐富機(jī)能、*適合各類基礎(chǔ)研究使用

SCOTT-C1

基板尺寸數(shù)量	φ4英寸（φ100mm）×t＝1mm、1個(gè)
有效成膜范圍	φ50mm
RF電源	Max300W（40?300W可變）
成膜速度	SiO₂成膜時(shí)、大于30nm/min
膜厚分布	SiO₂成膜時(shí)、50mm+-10%以內(nèi)
真空室極限壓力	6.6X10^-4
排氣時(shí)間	5分鐘內(nèi)從大氣壓抽至6。6X10^-3Pa
基板加熱溫度	Max350℃(水冷)
基板電極間距離	60mm
外形尺寸	1120mm(長)×704mm(寬)×1262mm(高）
裝置重量	約500kg
消耗電量	1φ100V（50/60Hz）3.0kVA
消耗水量	約8L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)
蝕刻分布	用酸化膜磈片時(shí)、70mm+-10%以內(nèi)
選購件	追加氣體導(dǎo)入、質(zhì)量流量控制器、基板加熱600C (水冷)、DC電源

SCOTT-C3

基板尺寸數(shù)量	φ2英寸（φ50.8mm）×t＝1mm、1個(gè)
有效成膜范圍	φ25mm
RF電源	Max300W（40?300W可變）
成膜速度	SiO₂成膜時(shí)、大于30nm/min
膜厚分布	SiO₂成膜時(shí)、25mm+-10%以內(nèi)
真空室極限壓力	6.6X10^-4
排氣時(shí)間	5分鐘內(nèi)從大氣壓抽至6。6X10^-3Pa
基板加熱溫度	Max350℃(基板水冷機(jī)構(gòu):無)
基板動作	手動調(diào)節(jié) 3點(diǎn)指針旋轉(zhuǎn) (約300度角)
基板電極間距離	50mm?90mm（可變：半固定）
外形尺寸	1100mm(長)×700mm(寬)×1070mm(高）
裝置重量	約400kg
消耗電量	1φ100V（50/60Hz）3.0kVA
消耗水量	2L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)
選購件	刻蝕機(jī)構(gòu) (洗凈)、追加氣體導(dǎo)入、質(zhì)量流量控制器、基板加熱350C(水冷)600C無水冷、DC電源

SCOTT-C1

超小型離子濺射裝置

VPS-020

標(biāo)準(zhǔn)靶材	φ49Au1個(gè) (鍍膜用) φ49 Al 1個(gè)1個(gè) (刻蝕用)
試料臺	φ70(高度調(diào)節(jié)范圍15mm、20mm、60mm)
真空槽	φ120(深度120mm)不銹鋼制
油旋片泵	G-20DA型（20L/min）
高壓電源	1kV/0?20mA(帶電流計(jì)、內(nèi)置安全電路)
鍍膜方式	AC/DC
刻蝕方式	AC/DC
時(shí)間	0?15min、連續(xù)可變
氣體調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)	針閥
電源	100V１φ0.4kVA
重量	8.5kg
外形尺寸	160mm(長)×365mm(奧行)×317mm(高)
選購件	1．靶材 Pt-Pd、Ag其它 2．油霧過濾器(OMT-050A) *請根據(jù)用途挑選選購件

VPS-050

標(biāo)準(zhǔn)靶材	φ109Au1個(gè) (鍍膜用) φ109 Al 1個(gè)1個(gè) (刻蝕用)
試料臺	φ100(高度調(diào)節(jié)范圍15mm、20mm、60mm)
真空槽	φ240(深度120mm)不銹鋼制
油旋片泵	G-100D型（100L/min）　選購件
高壓電源	1kV/0?20mA(帶電流計(jì)、內(nèi)置安全電路)
鍍膜方式	AC/DC
刻蝕方式	AC/DC
時(shí)間	0?15min、連續(xù)可變
氣體調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)	針閥
電源	100V１φ0.5kVA
重量	20kg
外形尺寸	282mm(長)×485mm(奧行)×440mm(高)
選購件	1．靶材 AU、 Pt-Pd、Ag其它 2．油霧過濾器(OMT-050A) *請根據(jù)用途挑選選購件

VPS-020

關(guān)鍵詞：加熱器真空泵過濾器質(zhì)量流量控制器流量控制器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
REXROTH齒輪泵	面議	上海市	上海乾拓貿(mào)易有限公司	2024-11-23	在線詢價(jià)
RENNER齒輪泵	￥10000	上海市	希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司	2025-01-20	在線詢價(jià)
代理CONCENTRIC齒輪泵WP12A1B250油泵現(xiàn)貨	￥1000	天津市	天津克萊瑞科技有限公司	2024-12-24	在線詢價(jià)
捷克JIHOSTROJ齒輪泵、馬達(dá)、分流器	面議	上海市	上海邦之言實(shí)業(yè)有限公司	2024-03-01	在線詢價(jià)
岡常齒車制作所OKATSUNE齒輪泵	￥8500	重慶市	重慶津澤機(jī)電科技有限公司	2023-05-30	在線詢價(jià)
力士樂齒輪泵R901147102說明	面議	上海市	上海乾拓貿(mào)易有限公司	2024-11-18	在線詢價(jià)

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