安捷倫的 VacIon Plus 離子泵系列具有適合各種抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。Diode Vaclon Plus 離子泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統(tǒng)中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode Vaclon Plus 離子泵用于以恒定的壓力抽除混合氣體的超高真空應(yīng)用中，因此適合在粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析應(yīng)用中提供超高真空。StarCell 的設(shè)計使其能抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以高速度和大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10 -8 mbar 或以上壓力下穩(wěn)定工作的應(yīng)用。
特性：
1.單元室采用優(yōu)化設(shè)計，可限度提高排放強度和抽速
2.離子泵在真空狀態(tài)下運輸
3.具有寬廣的抽速范圍（從 0.2 l/s 至 1000 l/s）
4.可提供多種泵體配置
5.聯(lián)鎖的真空密封穿導(dǎo)件連接方便，并可避免腐蝕和限度縮小泵的總體尺寸
6.三種不同的抽氣單元可抽除所有可能的氣體混合物
7.專用陶瓷絕緣子可延長泵的壽命
8.提供掃描電子顯微鏡 (SEM) 型
性能指標：
技術(shù)指標：
| StarCell® | 改進型二極離子泵 | 二極泵 | |
| 氮氣名義抽速 (*) (L/s) | 65 | 68 | 75 |
| 在 1 x 10-6 mbar 壓力下的工作壽命（小時） | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 啟動壓力 (mbar) | ≤ 5x10-2 | ≤ 1x10-3 | |
| 極限真空 | 低于 10-11 | ||
| 抽氣口法蘭 | 6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR SST | ||
| MAX烘烤溫度 (℃) | 350 | ||
| 重量，kg（磅） | 19 (42) | ||
(*) 根據(jù) ISO/DIS 3556-1-1992 測試
抽速與進氣口壓力關(guān)系
外形圖
